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Barco SiC para manuseio de wafer

Barco SiC para manuseio de wafer

Fabricado a partir de carboneto de silício de pureza excepcional, o Barco Semicorex SiC para Manuseio de Wafers possui uma construção que inclui ranhuras de precisão para fixar os wafers, mitigando qualquer movimento durante os procedimentos operacionais. A escolha do carboneto de silício como material garante não apenas dureza e resiliência, mas também a capacidade de suportar temperaturas elevadas e exposição a produtos químicos. Isso torna o barco SiC para manuseio de wafer um componente essencial em uma infinidade de estágios de produção de semicondutores, como cultivo de cristais, difusão, implantação de íons e processos de gravação.

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Descrição do produto

Distinguido por sua relação incomparável entre resistência e peso e propriedades condutoras térmicas superiores, o barco Semicorex SiC para manuseio de wafer passa por um processo de aprimoramento adicional por meio de um revestimento CVD SiC. Esta camada de revestimento adicional amplifica a sua resistência aos rigores dos ambientes de processamento e protege-o da degradação química e das flutuações térmicas, prolongando significativamente a sua vida útil operacional e garantindo um desempenho consistente sob exigências operacionais rigorosas.


Em operações térmicas como recozimento ou difusão, o barco SiC para manuseio de wafer é fundamental para alcançar uma distribuição uniforme de temperatura na superfície do wafer. Sua excelente condutividade térmica facilita a dispersão eficaz do calor, reduzindo as disparidades térmicas e promovendo uniformidade nos resultados do processo.


O barco Semicorex SiC para manuseio de wafer é apreciado por sua confiabilidade e excelente desempenho, atendendo aos rigorosos requisitos da produção contemporânea de semicondutores. Com sua adaptabilidade para processos de wafer em lote e individuais, o barco SiC para manuseio de wafer se destaca como uma ferramenta essencial para instalações de produção de semicondutores dedicadas a alcançar padrões de produtos superiores e rendimentos maximizados. O papel do barco SiC para manuseio de wafer é fundamental para manter ambos a integridade e a confiabilidade dos wafers, encontrando ampla aplicação em equipamentos de produção de semicondutores, dispositivos industriais e como peças de reposição.



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