Luva do eixo SiC

A Semicorex fornece cerâmica de grau semicondutor para suas ferramentas de semifabricação OEM e componentes de manuseio de wafer. Somos fabricantes e fornecedores de filme de revestimento de carboneto de silício há muitos anos. Nossa luva de eixo SiC tem uma boa vantagem de preço e cobre a maior parte dos mercados europeu e americano. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Nossa luva de eixo SiC possui boa resistência à corrosão e excelente resistência a altas temperaturas e choque térmico. Além disso, um alto módulo de elasticidade resulta em excelente estabilidade dimensional. Além disso, existe a porosidade zero e a baixa densidade de poros do material cerâmico.

Podemos processar todos os tipos de luva de eixo SiC de acordo com as necessidades do cliente.

Parâmetros da luva do eixo SiC

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Carboneto de silício sinterizado de reação	Carboneto de silício sinterizado sem pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15±0,03	2,60-2,70
Resistência à Flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistência à Compressão	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botão	2700	2800	/
Quebrando a tenacidade	MPam1/2	4.5	4	/
Condutividade Térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de Expansão Térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor Específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	GP	360	410	240

A Semicorex produziu luva de eixo SiC em três formas, carboneto de silício sinterizado por reação (RBSiC), carboneto de silício sinterizado sem pressão (SSiC) e carboneto de silício recristal (R-SiC).

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. O RBSiC deve infiltrar Si livre no carboneto de silício a baixa temperatura, o SSiC é formado por encolhimento natural a 2.100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Diferentes tempos de uso sob diferentes PH e temperatura, SSiC é mais longo que RBSiC

Características da manga do eixo SiC

- Alta resistência (dureza Mohs 9,5, perdendo apenas para o diamante)

- Resistência à corrosão de ácidos, álcalis, sais e solventes orgânicos

- Alta condutividade térmica, resistência ao plasma, longa vida

- Semicondutores

Formas disponíveis de cerâmica de carboneto de silício:

● Haste de cerâmica/pino de cerâmica/êmbolo de cerâmica

● Tubo cerâmico/bucha cerâmica/luva cerâmica

● Anel cerâmico/arruela cerâmica/espaçador cerâmico

● Disco cerâmico

● Placa cerâmica/bloco cerâmico