Mandril de wafer semicondutor

Os componentes avançados e revestidos de carboneto de silício de alta pureza da Semicorex são construídos para suportar ambientes extremos no processo de manuseio de wafers. Nosso Semiconductor Wafer Chuck tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O mandril de wafer semicondutor ultraplano Semicorex é revestido com SiC de alta pureza para uso no processo de manuseio de wafer. Semiconductor Wafer Chuck por equipamento MOCVD O crescimento do composto tem alta resistência ao calor e à corrosão, que tem grande estabilidade em ambientes extremos e melhora o gerenciamento de rendimento para processamento de wafer semicondutor. As configurações de baixo contato superficial minimizam o risco de partículas no verso para aplicações sensíveis.

Parâmetros do mandril de wafer semicondutor

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300