Mandril de wafer semicondutor

Os componentes revestidos de carboneto de silício avançados e de alta pureza da Semicorex são construídos para suportar ambientes extremos no processo de manuseio de wafer. Nosso Semiconductor Wafer Chuck tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O semicondutor semicondutor ultraplano Semicorex é revestido com SiC de alta pureza para uso no processo de manuseio de wafer. Mandril de wafer semicondutor pelo equipamento MOCVD O crescimento composto tem alta resistência ao calor e à corrosão, que tem grande estabilidade em ambientes extremos e melhora o gerenciamento de rendimento para o processamento de wafer semicondutor. As configurações de baixo contato com a superfície minimizam o risco de partículas no verso para aplicações sensíveis.

Parâmetros do Semiconductor Wafer Chuck

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura de cristal	FCC fase β
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	Î¼m	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (RT 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (dobra de 4pt, 1300â)	430
Expansão Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300