Wafer Boat Semicondutor

A Semicorex fornece barcos de wafer, pedestais e transportadores de wafer personalizados para configurações verticais/de coluna e horizontais. Há muitos anos que somos fabricantes e fornecedores de película de revestimento de carboneto de silício. Nosso Semiconductor Wafer Boat tem uma boa vantagem de preço e cobre a maioria dos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Semicorex Semiconductor Wafer Boat é feito de cerâmica de carboneto de silício sinterizado, que possui boa resistência à corrosão e excelente resistência a altas temperaturas e choque térmico. A cerâmica avançada oferece excelente resistência térmica e durabilidade do plasma enquanto reduz partículas e contaminantes para transportadores de wafer de alta capacidade.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer barcos semicondutores de alta qualidade e econômicos, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo, oferecendo produtos de alta qualidade e atendimento excepcional ao cliente.
Entre em contato conosco hoje para saber mais sobre nosso Semiconductor Wafer Boat.

Parâmetros do Wafer Boat Semicondutor

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Reação de carboneto de silício sinterizado	Carboneto de Silício Sinterizado Sem Pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistência à flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Força compressiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Knoop	2700	2800	/
Quebrando Tenacidade	MPa m1/2	4.5	4	/
Condutividade térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansão térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	Gpa	360	410	240

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. RBSiC é para infiltrar Si livre em carboneto de silício a baixa temperatura, SSiC é formado por encolhimento natural a 2100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Tempo de uso diferente sob PH e temperatura diferentes, SSiC é mais longo que RBSiC

Características do Wafer Boat Semicondutor

Resistência ao calor superior e uniformidade térmica
Cristal de SiC fino revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.