Portadores de wafer RTA SiC

O recozimento térmico rápido é uma técnica de processamento térmico amplamente utilizada na fabricação de semicondutores. Usando lâmpadas infravermelhas halógenas como fonte de calor, ele aquece wafers ou materiais semicondutores rapidamente a temperaturas entre 300 ℃ e 1200 ℃ com uma taxa de aquecimento extremamente rápida, seguida de resfriamento rápido. O rápido processo de recozimento térmico pode eliminar tensões residuais e defeitos dentro de wafers e materiais semicondutores, melhorando a qualidade e o desempenho do material. Os transportadores de wafer RTA SiC são o componente de transporte indispensável amplamente utilizado no processo RTA, que pode suportar de forma estável os materiais wafer e semicondutores durante a operação e garante um efeito de tratamento térmico consistente.

As vantagens dos transportadores de wafer Semicorex RTA SiC

1. Resistência mecânica e dureza superiores

Os transportadores de wafer Semicorex RTA SiC oferecem excelente resistência mecânica e dureza e são capazes de suportar várias tensões mecânicas sob condições RTA adversas, permanecendo dimensionalmente estáveis ​​e duráveis. Com sua excelente dureza, a superfície dos transportadores de wafer RTA SiC é menos propensa a arranhões, o que fornece uma superfície de suporte plana e lisa que evita efetivamente danos ao wafer causados ​​por arranhões no transportador.

2. Condutividade térmica excepcional

Os transportadores de wafer Semicorex RTA SiC possuem condutividade térmica excepcional, permitindo-lhes dispersar e conduzir calor de forma eficaz. Eles podem fornecer controle preciso de temperatura durante o processamento térmico rápido, o que reduz significativamente o risco de danos térmicos aos wafers e melhora a uniformidade e consistência do processo de recozimento.

3. Excelente estabilidade térmica

O carboneto de silício apresenta um ponto de fusão de cerca de 2.700°C e mantém excelente estabilidade em temperaturas de operação contínua de 1.350 a 1.600°C. Isso dá ao SemicorexPortadores de wafer RTA SiCestabilidade térmica superior para condições operacionais de RTA em alta temperatura. Além disso, com seu baixo coeficiente de expansão térmica, os transportadores de wafer SiC Semicorex RTA podem evitar rachaduras ou danos causados ​​por expansão e contração térmica irregular durante ciclos rápidos de aquecimento e resfriamento.

4. Excelente desempenho de baixa contaminação

Feito de alta pureza cuidadosamente selecionadocarboneto de silício, Os portadores de wafer Semicorex RTA SiC apresentam baixo teor de impurezas. Graças à sua notável resistência química, os transportadores de wafer Semicorex RTA SiC são capazes de evitar a corrosão dos gases do processo durante o rápido recozimento térmico, minimizando assim a contaminação do wafer causada pelos reagentes e atendendo aos rigorosos requisitos de limpeza dos processos de fabricação de semicondutores.