Efetor Final do Robô

A Semicorex é um fabricante independente líder de grafite revestido de carboneto de silício, grafite de alta pureza usinado com precisão, com foco nas áreas de grafite revestido de carboneto de silício, cerâmica de carboneto de silício e MOCVP de fabricação de semicondutores. Nosso Robot End Effector tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Robot End Effector é a mão do robô que move wafers semicondutores entre as posições no equipamento de processamento de wafer e transportadores. O Robot End Effector deve ser dimensionalmente preciso e termicamente estável, ao mesmo tempo em que possui uma superfície lisa e resistente à abrasão para manusear wafers com segurança sem danificar dispositivos ou produzir contaminação por partículas. Nosso Robot End Effector com revestimento de carboneto de silício (SiC) de alta pureza oferece resistência superior ao calor, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi e resistência química durável.

Parâmetros do Efetor Final do Robô

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura de cristal	FCC fase β
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	¼m	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (RT 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (dobra de 4pt, 1300â)	430
Expansão Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300