Efetor final do robô

Semicorex é um fabricante independente líder de grafite revestido com carboneto de silício, grafite usinado com precisão de alta pureza com foco nas áreas de grafite revestido com carboneto de silício, cerâmica de carboneto de silício e MOCVP de fabricação de semicondutores. Nosso Robot End Effector tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Robot End Effector is the robot's hand which move semiconductor wafers between positions in wafer processing equipment and carriers. Robot End Effector must be dimensionally precise and thermally stable, while having a smooth, abrasion-resistant surface to safely handle wafers without damaging devices or producing particulate contamination. Our high-purity silicon carbide (SiC) coating Robot End Effector provides superior heat resistance, even thermal uniformity for consistent epi layer thickness and resistance, and durable chemical resistance.

Parâmetros do Robot End Effector

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300