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Feito de materiais CVD SiC de alto desempenho, o anel de foco Semicorex CVD SiC para 2L10-506419-21 é a peça crucial do anel projetada especialmente para equipamentos TEL VIGUS RK4 usados ​​nos processos de gravação de semicondutores de precisão. Escolher a Semicorex significa que você obterá as soluções CVD SiC ideais para obter resultados de ataque precisos e uniformes.

Os susceptores planetários revestidos com SiC Semicorex são componentes de suporte de grafite de alta precisão cobertos com um revestimento denso de carboneto de silício, especialmente projetados para o equipamento MOCVD avançado. Eles podem permitir fluxo uniforme de gás e distribuição térmica, contribuindo assim para a criação de um ambiente epitaxial ideal.

Os barcos de wafer de cerâmica Semicorex SiC são soluções de carboneto de silício de alto desempenho projetadas para suportar e transportar wafers com segurança durante a fabricação de semicondutores de última geração. Graças a essas excelentes vantagens, eles são adequados para processos precisos de fabricação de semicondutores em alta temperatura, como processos de oxidação, difusão e CVD.

Os discos de desvio de gás revestidos com SiC Semicorex são os componentes de grafite indispensáveis ​​aplicados no equipamento epitaxial semicondutor, projetados especialmente para regular o fluxo do gás de reação e promover a distribuição uniforme do gás dentro da câmara de reação. Escolha Semicorex, escolha as soluções ideais de desvio de gás para resultados epitaxiais de wafer de alta qualidade.

O Semicorex SiC Wafer Carrier é feito de cerâmica de carboneto de silício de alta pureza, por meio de tecnologia de impressão 3D, o que significa que pode obter componentes de usinagem altamente preciosos em um curto espaço de tempo. Considera-se que a Semicorex fornece produtos qualificados de alta qualidade aos nossos clientes globais.*

Os anéis de aterramento superiores revestidos com SiC Semicorex CVD são os componentes essenciais em forma de anel projetados especialmente para o sofisticado equipamento de gravação a plasma. Como fornecedora líder do setor de componentes semicondutores, a Semicorex se concentra em fornecer anéis de aterramento superiores revestidos com CVD SiC de alta qualidade, duradouros e ultralimpos para ajudar nossos valiosos clientes a melhorar a eficiência operacional e a qualidade geral do produto.