Produtos

Os susceptores de wafer de grafite revestidos com SiC Semicorex são os portadores de wafer de grafite indispensáveis ​​cobertos com um revestimento CVD SiC denso e uniforme, que são projetados especificamente para os sistemas de crescimento epitaxial MOCVD de semicondutores de última geração. Escolher a Semicorex significa que você pode obter preços econômicos, qualidade de produto superior e uma experiência de serviço confiável.

Os susceptores planetários revestidos com SiC Semicorex são componentes de suporte de grafite de alta precisão cobertos com um revestimento denso de carboneto de silício, especialmente projetados para o equipamento MOCVD avançado. Eles podem permitir fluxo uniforme de gás e distribuição térmica, contribuindo assim para a criação de um ambiente epitaxial ideal.

O Suporte Susceptor de Quartzo Semicorex foi projetado especificamente para fornos epitaxiais semicondutores. Seus materiais de alta pureza e estrutura precisa permitem o controle preciso de levantamento e posicionamento de bandejas ou porta-amostras dentro da câmara de reação. A Semicorex pode fornecer soluções personalizadas de quartzo de alta pureza, garantindo estabilidade de desempenho a longo prazo de cada componente de suporte em ambientes de processo de semicondutores de alto vácuo, alta temperatura e altamente corrosivos por meio de tecnologia de processamento avançada e controle de qualidade rigoroso.*

Os susceptores de wafer de grafite Semicorex 1x2" são componentes de transporte de alto desempenho especialmente projetados para wafers de 2 polegadas, que são adequados para o processo epitaxial de wafers semicondutores. Escolha a Semicorex para pureza de material líder do setor, engenharia de precisão e confiabilidade incomparável em ambientes exigentes de crescimento epitaxial.

Os susceptores de wafer de grafite revestidos com TaC Semicorex são os componentes de ponta normalmente aplicados para suportar e posicionar de forma estável os wafers semicondutores durante os processos epitaxiais de semicondutores avançados. Aproveitando tecnologias de produção de última geração e experiência de fabricação madura, a Semicorex está comprometida em fornecer susceptores de wafer de grafite revestidos com TaC de engenharia personalizada com qualidade líder de mercado para nossos valiosos clientes.

Os susceptores revestidos com TaC CVD Semicorex são susceptores de grafite de alto desempenho com um revestimento TaC denso, projetados para fornecer excelente uniformidade térmica e resistência à corrosão para processos exigentes de crescimento epitaxial de SiC. A Semicorex combina tecnologia avançada de revestimento CVD com rigoroso controle de qualidade para fornecer susceptores duradouros e de baixa contaminação, confiáveis ​​pelos fabricantes globais de epi SiC.*