Mandris de vácuo SiC porosos

SiC poroso Semicorexmandris a vácuosão os componentes indispensáveis, que podem ser amplamente utilizados nos processos avançados de fabricação de semicondutores, como desbaste de wafer, corte em cubos, moagem, polimento, fotolitografia, gravação. Sua plataforma de adsorção é construída com uma placa cerâmica de SiC porosa com numerosos poros em escala micrométrica distribuídos uniformemente. Com diâmetro de poro consistente e taxa de passagem excepcional, os mandris a vácuo de SiC poroso Semicorex fornecem um caminho de gás suave para evacuação a vácuo. Durante a operação, a pressão negativa estável e uniforme é gerada entre o mandril e o wafer, permitindo fixação a vácuo de alta eficiência e liberação de wafers semicondutores.

Vantagens dos mandris a vácuo SiC poroso Semicorex 

1. Precisão de processamento excepcional

Os wafers semicondutores processados ​​na fabricação avançada de semicondutores são extremamente finos, portanto, mesmo leves curvaturas, vibrações ou tensões locais irregulares podem levar à quebra, empenamento e redução da precisão do wafer em processos críticos como a litografia. SemicorexSiC porosoos mandris a vácuo são processados ​​por meio de retificação e polimento de alta precisão, alcançando uma rugosidade superficial perfeita de Ra ＜ 0,1 μm. Isso permite que os mandris a vácuo de SiC poroso Semicorex forneçam uma superfície operacional otimizada para a fabricação de semicondutores de alta precisão.

2. Alta limpeza e alta resistência à corrosão

Para atender totalmente aos rígidos padrões de limpeza de semicondutores, a Semicorex fabrica mandris a vácuo de SiC poroso com matérias-primas de carboneto de silício de alta pureza por meio de sinterização em alta temperatura. Isso garante que os mandris estejam livres de derramamento de partículas e contaminação metálica migratória. Beneficiando-se da excelente estabilidade química do SiC, os mandris a vácuo de SiC poroso Semicorex são capazes de suportar ambientes agressivos de corrosão e não gerar subprodutos extras, tornando-os altamente adequados para processos de fabricação de semicondutores limpos de alta qualidade.

3. Excelente durabilidade e estabilidade a longo prazo

Os mandris a vácuo usados ​​em linhas de produção devem suportar milhares de ciclos de adsorção e liberação, bem como flutuações de temperatura de longo prazo. Isto impõe requisitos extremamente elevados ao desempenho do material dos mandris a vácuo. Os mandris a vácuo SiC porosos Semicorex apresentam excelente dureza de material e resistência ao desgaste, com expansão térmica estável. Eles não apresentam fluência ou degradação de desempenho em condições de alta temperatura, o que prolonga significativamente sua vida útil e reduz a manutenção de componentes e a frequência de substituição.