Semicorex é um fabricante e fornecedor em grande escala de grafite revestido de carboneto de silício na China. Nosso anel de vedação de entrada MOCVD tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para se tornar seu parceiro de longo prazo.
O anel de vedação de entrada MOCVD com revestimento de carboneto de silício Semicorex é um grafite revestido de SiC de alta pureza, usado na deposição, no processo de manuseio de wafer. O anel de vedação de entrada MOCVD revestido com SiC tem alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer anel de vedação de entrada MOCVD econômico e de alta qualidade, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo, oferecendo produtos de alta qualidade e atendimento excepcional ao cliente.
Parâmetros do anel de vedação de entrada MOCVD
Principais especificações do revestimento CVD-SIC |
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Propriedades SiC-CVD |
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Estrutura de cristal |
FCC fase β |
|
Densidade |
g/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Tamanho de grão |
¼m |
2~10 |
Pureza Química |
% |
99.99995 |
Capacidade de calor |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Temperatura de Sublimação |
℃ |
2700 |
Força Felexural |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Módulo de Young |
Gpa (dobra de 4pt, 1300â) |
430 |
Expansão Térmica (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Condutividade térmica |
(W/mK) |
300 |
Características do anel de vedação de entrada MOCVD
Grafite revestido de SiC de alta pureza
Resistência ao calor superior e uniformidade térmica
Cristal de SiC fino revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.