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Anel de vedação de entrada MOCVD

Anel de vedação de entrada MOCVD

Semicorex é um fabricante e fornecedor em grande escala de grafite revestido com carboneto de silício na China. Nosso anel de vedação de entrada MOCVD tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo.

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Descrição do produto

O anel de vedação de entrada MOCVD com revestimento de carboneto de silício Semicorex é um grafite revestido com SiC de alta pureza, usado no processo de deposição e manuseio de wafer. O anel de vedação de entrada MOCVD revestido com SiC possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer anel de vedação de entrada MOCVD de alta qualidade e econômico, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de alta qualidade e atendimento ao cliente excepcional.


Parâmetros do anel de vedação de entrada MOCVD

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD

Estrutura Cristalina

Fase β do FCC

Densidade

g/cm³

3.21

Dureza

Dureza Vickers

2500

Tamanho do grão

μm

2~10

Pureza Química

%

99.99995

Capacidade de calor

J kg-1 K-1

640

Temperatura de sublimação

2700

Força Felexural

MPa (TR 4 pontos)

415

Módulo de Young

Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)

430

Expansão Térmica (CTE)

10-6K-1

4.5

Condutividade térmica

(W/mK)

300


Características do anel de vedação de entrada MOCVD

Grafite revestida com SiC de alta pureza

Resistência térmica superior e uniformidade térmica

Cristal fino de SiC revestido para uma superfície lisa

Alta durabilidade contra limpeza química

O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.




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