Anéis de entrada MOCVD

Semicorex é um fabricante e fornecedor em grande escala de grafite revestido com carboneto de silício na China. Nossos anéis de entrada MOCVD têm uma boa vantagem de preço e cobrem muitos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo.

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Descrição do produto

A Semicorex fornece anéis de entrada MOCVD usados na deposição e processamento de wafer, que são realmente estáveis para RTA, RTP ou limpeza química agressiva. Nossos anéis de entrada MOCVD possuem construção de grafite revestida com carboneto de silício (SiC) de alta pureza, que fornece resistência ao calor superior, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi e resistência química durável. O revestimento fino de cristal SiC fornece uma superfície limpa e lisa, crítica para o manuseio, uma vez que os wafers imaculados entram em contato com o susceptor em muitos pontos em toda a sua área.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer anéis de entrada MOCVD de alta qualidade e econômicos, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de alta qualidade e atendimento ao cliente excepcional.

Parâmetros dos anéis de entrada MOCVD

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300