Barcos horizontais de carboneto de silício

Semicorex horizontalbarcos de carboneto de silíciosão formados integralmente usando tecnologia de impressão 3D e depois fabricados através de sinterização em alta temperatura. Projetados especificamente para atender diversos tamanhos de fornos horizontais de alta temperatura, esses componentes são amplamente aplicados para garantir firmemente a retenção de wafer em processos críticos de fabricação de semicondutores de alta temperatura, incluindo difusão, oxidação e deposição de vapor químico.

Propriedades físico-químicas do carboneto de silício

As vantagens do barco horizontal de carboneto de silício Semicorexs

1. Suporte e posição estáveis

A resistência e dureza incomparáveis ​​do material proporcionam aos barcos horizontais de carboneto de silício Semicorex excelente capacidade de suporte, o que lhes permite transportar de forma estável vários wafers simultaneamente. Através da usinagem de ranhuras de precisão, os barcos horizontais de carboneto de silício Semicorex podem fixar e segurar firmemente wafers semicondutores. A estrutura de slots espaçados uniformemente garante que os wafers mantenham uma posição fixa durante todo o ciclo de processamento, garantindo assim a consistência e a precisão dos processos de fabricação de semicondutores.

2.Compatibilidade com condições operacionais complexas

Graças à sua resistência superior a altas temperaturas e à corrosão, os barcos horizontais de carboneto de silício Semicorex são capazes de suportar ambientes operacionais rigorosos, como atmosferas de alta temperatura de oxigênio, nitrogênio ou cloreto de hidrogênio de baixa concentração. Estas propriedades excepcionais do material podem prevenir eficazmente a corrosão e os danos causados ​​por gases corrosivos de alta temperatura, o que prolonga muito a vida útil operacional dos barcos.

3. Desempenho de limpeza excepcional

Diferente dos barcos convencionais de grafite revestidos com carboneto de silício, os barcos horizontais de carboneto de silício Semicorex são fabricados a partir de semicondutores de alta purezacarboneto de silício(99,999%) com teor de impurezas ultrabaixo. Esta seleção de material premium elimina o risco de liberação de gases contaminantes ou descamação do revestimento, mesmo quando exposto a ambientes corrosivos agressivos e de alta temperatura. Além disso, cada um dos nossos barcos de carboneto de silício é submetido a rigorosos processos de limpeza ultrassônica antes da embalagem a vácuo, o que garante a conformidade com os padrões de limpeza exigidos pelos processos avançados de fabricação de semicondutores.