Barcos de forno de câmara horizontal

Os barcos sic de forno da câmara horizontal semicorex são uma parte altamente engenhada que mantém e transporta bolachas ou substratos enquanto são submetidos a processamento térmico de alta temperatura em um forno de câmara horizontal. O barco de wafer é feito de SiC de alta pureza carboneto de silício (sic), que fornece a combinação única de resistência, estabilidade térmica e alta resistência química que é exigida nos processos de cerâmica semicondutores, fotovoltaicos e avançados. O barco de wafer também atua como uma estrutura rígida para manter as bolachas em posição, a estabilidade dimensional e a precisão das bolachas não serão perdidas pela exposição prolongada às temperaturas extremas do processo.

As propriedades superiores do carboneto de silício fornecem os barcos da SiC de forno da câmara horizontal uma vantagem de desempenho superior em comparação com materiais típicos para barcos de bolacha como quartzo ou alumina. Eles podem suportar melhor os ciclos de aquecimento e resfriamento de curta duração frequentes devido ao seu alto ponto de fusão, resistência ao choque térmico e resistência mecânica, independentemente da velocidade de aquecimento e resfriamento ou extremos do ciclo térmico. Como um forno horizontal depende inteiramente da consistência das posições das bolachas e da exposição das condições do processo, o alinhamento adequado das bolachas fornece rendimento e repetibilidade consistentes do processo. O baixo coeficiente de expansão térmica significa que o barco não distorce ao longo de sua vida e proporcionará forma e espaçamento retido das bolachas.

A estrutura densa e densa da SIC recristalizada fornece uma resistência notável à oxidação, corrosão e contaminação por gases e subprodutos do processo. Isso torna o barco especialmente vantajoso para processos em atmosferas agressivas, como difusão, oxidação, LPCVD e recozimento. A alta inércia química do SiC evita reações com as superfícies de wafer, preservando assim a pureza do produto e minimizando a geração de partículas no forno. Os barcos da SIC podem ajudar os fabricantes que precisam atender às rigorosas demandas de limpeza, fornecendo ambientes de processamento mais limpo e melhoria da qualidade da bolacha.

Esses barcos podem ser produzidos com várias geometrias complexas e dimensões específicas da parte com técnicas de usinagem e formação de precisão. Os projetos geralmente usam vários slots/ranhuras paralelas para manter as bolachas com segurança em uma orientação horizontal e expõem uniformemente toda a superfície da wafer a condições térmicas. O espaçamento e os ângulos de slot-slot também podem ser otimizados para encaixar as bolachas de outros diâmetros, como 150 mm, 200 mm ou 300 mm e fluxo de ar direto durante os efeitos do processamento, enquanto ainda atinge a uniformidade da temperatura para o processamento.

Não apenas os barcos SIC de forno da câmara horizontal podem ser projetados em partidas padrão, mas também podem ser projetadas para funcionar com carregadores de wafer automatizados, resultando em uma integração perfeita nas modernas linhas de produção de alto rendimento. O design robusto também tornará os barcos menos propensos a lascar ou quebrar durante o manuseio e reduzirão o tempo de inatividade e os custos de substituição.

A condutividade térmica decarboneto de silícioRepresenta outra vantagem importante que facilita a transferência de calor eficiente entre as bolachas e o ambiente do forno. A vantagem é que os fabricantes são capazes de obter condições de processamento mais uniformes e reduzir os tempos de ciclo, o que pode aumentar a eficiência da produção. Os barcos SiC fornecem resultados consistentes e repetíveis, sejam eles usados ​​para fabricação de wafer semicondutores, fabricação de células solares ou outro processamento avançado de materiais a temperaturas elevadas.

Em resumo, os barcos sic de forno da câmara horizontal são um componente essencial para os fabricantes que desejam produzir bolachas com portadores de bolas de alto desempenho, duradouros e resistentes à contaminação. Possui resistência mecânica, estabilidade térmica e inércia química que é inigualável em aplicações de fornos horizontais. Ao escolher barcos de carboneto de silício, os operadores podem aproveitar um melhor controle de processos, rendimentos mais altos e minimizar as interrupções operacionais devido à manutenção. No geral, ele fornece produções mais eficientes e econômicas.