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Anel de entrada de gás para equipamentos semicondutores

Semicorex é um fabricante e fornecedor em grande escala de Susceptor de grafite revestido com carboneto de silício na China. Nós nos concentramos em indústrias de semicondutores, como camadas de carboneto de silício e semicondutores epitaxiais. Nosso anel de entrada de gás para equipamentos semicondutores tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O anel de entrada de gás Semicorex para equipamentos semicondutores é revestido com SiC, que é um revestimento denso e resistente ao desgaste de carboneto de silício (SiC). Possui altas propriedades de resistência à corrosão e ao calor, bem como excelente condutividade térmica. Aplicamos SiC em camadas finas sobre o grafite usando o processo de deposição química de vapor (CVD).

Nosso anel de entrada de gás para equipamentos semicondutores foi projetado para atingir o melhor padrão de fluxo de gás laminar, garantindo uniformidade do perfil térmico. Isto ajuda a evitar qualquer contaminação ou difusão de impurezas, garantindo um crescimento epitaxial de alta qualidade no chip wafer.

Contate-nos hoje para saber mais sobre nosso anel de entrada de gás para equipamentos semicondutores.

Parâmetros do anel de entrada de gás para equipamentos semicondutores

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características do anel de entrada de gás para equipamentos semicondutores

● Grafite revestida com SiC de alta pureza

● Resistência superior ao calor e uniformidade térmica

● Cristal fino de SiC revestido para uma superfície lisa

● Alta durabilidade contra limpeza química

● O material foi projetado de forma que não ocorram rachaduras e delaminação.

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