Anéis de foco duráveis ​​para processamento de semicondutores

Nossos anéis de foco duráveis ​​para processamento de semicondutores são projetados para melhorar a uniformidade de gravação ao redor da borda ou do perímetro do wafer, minimizando a contaminação e a manutenção não programada. Eles são altamente estáveis ​​para recozimento térmico rápido (RTA), processamento térmico rápido (RTP) e limpeza química severa.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer anéis de foco duráveis ​​de alta qualidade e econômicos para processamento de semicondutores, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo, oferecendo produtos de alta qualidade e atendimento excepcional ao cliente.

Entre em contato conosco hoje para saber mais sobre nossos anéis de foco duráveis ​​para processamento de semicondutores.

Parâmetros de anéis de foco duráveis ​​para processamento de semicondutores

Recursos de anéis de foco duráveis ​​para processamento de semicondutores

â Grafite de alta pureza e revestimento de SiC para resistência a furos e vida útil mais longa.

â Tanto o substrato de grafite quanto a camada de SiC possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

○ O revestimento de SiC é aplicado em camadas finas para melhorar a vida útil.