Tubo do forno de difusão

O tubo do forno de difusão é normalmente feito de quartzo ou SiC de alta pureza, ambos apresentando excepcional estabilidade térmica e resistência a reações químicas. Isto é importante porque o tubo do forno de difusão não deve introduzir impurezas nos materiais semicondutores que estão sendo processados. Mesmo as menores impurezas podem ter efeitos prejudiciais significativos no desempenho e na confiabilidade dos dispositivos semicondutores fabricados.

Os materiais utilizados na construção do tubo do forno de difusão são escolhidos por sua alta pureza para evitar a contaminação dos wafers semicondutores durante o processamento. O tubo do forno de difusão suporta temperaturas extremas encontradas durante o processamento de semicondutores sem deformar ou comprometer sua integridade estrutural. Isto garante um desempenho consistente e confiável durante períodos prolongados de operação. Além da estabilidade térmica, o tubo do forno de difusão também apresenta resistência aos efeitos corrosivos dos produtos químicos e gases utilizados no processamento de semicondutores. Isto evita a degradação do tubo ao longo do tempo e garante a longevidade.

Alguns tubos de fornos de difusão podem apresentar revestimentos feitos de materiais especializados para melhorar ainda mais seu desempenho ou fornecer proteção adicional contra contaminação ou reações químicas. Esses revestimentos são cuidadosamente selecionados para complementar as propriedades do material do tubo e os requisitos específicos do processo de fabricação de semicondutores.