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Porta-wafers cerâmicos
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Porta-wafers cerâmicos

A Semicorex fornece cerâmica de grau semicondutor para suas ferramentas de semifabricação OEM e componentes de manuseio de wafers com foco em camadas de carboneto de silício em indústrias de semicondutores. Somos fabricantes e fornecedores de transportadores de wafer de cerâmica há muitos anos. Nossos produtos têm uma boa vantagem de preço e cobrem a maior parte dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O transportador de wafer cerâmico de carboneto de silício tem boa resistência à corrosão e excelente resistência a altas temperaturas e choque térmico. Além disso, um alto módulo de elasticidade resulta em excelente estabilidade dimensional. Além disso, existe a porosidade zero e a baixa densidade de poros do material cerâmico.
Podemos processar todos os tipos de suporte de wafer cerâmico de acordo com as necessidades dos clientes.


Parâmetros do transportador de wafer cerâmico

Propriedades Técnicas

Índice

Unidade

Valor

Nome do material

Carboneto de silício sinterizado de reação

Carboneto de silício sinterizado sem pressão

Carboneto de Silício Recristalizado

Composição

RBSiC

SSiC

R-SiC

Densidade aparente

g/cm3

3

3,15±0,03

2,60-2,70

Resistência à Flexão

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C) 90-100(1400°C)

Resistência à Compressão

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Dureza

Botão

2700

2800

/

Quebrando a Tenacidade

MPam1/2

4.5

4

/

Condutividade Térmica

W/m.k

95

120

23

Coeficiente de Expansão Térmica

10-60,1/°C

5

4

4.7

Calor Específico

Joule/g 0k

0.8

0.67

/

Temperatura máxima no ar

1200

1500

1600

Módulo Elástico

GP

360

410

240


A Semicorex produziu Ceramic Wafer Carrier em três formas, carboneto de silício sinterizado por reação (RBSiC), carboneto de silício sinterizado sem pressão (SSiC) e carboneto de silício recristal (R-SiC).


A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. O RBSiC deve infiltrar Si livre no carboneto de silício a baixa temperatura, o SSiC é formado por encolhimento natural a 2.100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Diferentes tempos de uso sob diferentes PH e temperatura, SSiC é mais longo que RBSiC


Características do transportador de wafer de cerâmica

Grafite revestida com SiC de alta pureza
Resistência térmica superior e uniformidade térmica
Cristal fino de SiC revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.


Formas disponíveis de cerâmica de carboneto de silício:

● Haste de cerâmica/pino de cerâmica/êmbolo de cerâmica

● Tubo cerâmico/bucha cerâmica/luva cerâmica

● Anel cerâmico/arruela cerâmica/espaçador cerâmico

● Disco cerâmico

● Placa cerâmica/bloco cerâmico

● Bola de cerâmica

● Pistão cerâmico

● Bocal cerâmico

● Cadinho cerâmico

● Outras peças cerâmicas personalizadas



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