A Semicorex fornece cerâmica de grau semicondutor para suas ferramentas de semicondutores OEM e componentes de manuseio de wafer com foco em camadas de carboneto de silício em indústrias de semicondutores. Há muitos anos que somos fabricantes e fornecedores de Ceramic Wafer Carrier. Nossos produtos têm uma boa vantagem de preço e cobrem a maioria dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
Carbeto de Silício Cerâmico Wafer Carrier tem boa resistência à corrosão e excelente resistência a altas temperaturas e choque térmico. Além disso, um alto módulo de elasticidade resulta em excelente estabilidade dimensional. Além disso, existe a porosidade zero e a baixa densidade de poros do material cerâmico.
Podemos processar todos os tipos de Ceramic Wafer Carrier de acordo com as necessidades dos clientes.
Parâmetros do transportador de bolacha de cerâmica
Propriedades Técnicas |
||||
Índice |
Unidade |
Valor |
||
Nome do material |
Reação de carboneto de silício sinterizado |
Carboneto de Silício Sinterizado Sem Pressão |
Carboneto de Silício Recristalizado |
|
Composição |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Densidade aparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Resistência à flexão |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Força compressiva |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Dureza |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Quebrando Tenacidade |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Condutividade térmica |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coeficiente de expansão térmica |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Calor específico |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura máxima no ar |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Módulo Elástico |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
A Semicorex produziu Ceramic Wafer Carrier em três formas, carboneto de silício sinterizado de reação (RBSiC), carboneto de silício sinterizado sem pressão (SSiC) e carboneto de silício recrystal (R-SiC).
A diferença entre SSiC e RBSiC:
1. O processo de sinterização é diferente. RBSiC é para infiltrar Si livre em carboneto de silício a baixa temperatura, SSiC é formado por encolhimento natural a 2100 graus.
2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.
3. Tempo de uso diferente sob PH e temperatura diferentes, SSiC é mais longo que RBSiC
Características do transportador de wafer de cerâmica
Grafite revestido de SiC de alta pureza
Resistência ao calor superior e uniformidade térmica
Cristal de SiC fino revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.
Formas disponíveis de cerâmica de carboneto de silícioï¼
Haste de cerâmica / pino de cerâmica / êmbolo de cerâmica
Tubo de cerâmica / bucha de cerâmica / luva de cerâmica
Anel de cerâmica / arruela de cerâmica / espaçador de cerâmica
Disco de cerâmica
Placa de cerâmica / bloco de cerâmica
Bola de cerâmica
Pistão de cerâmica
Bocal de cerâmica
Cadinho de cerâmica
â Outras peças de cerâmica personalizadas