Barco de wafer de cerâmica

A Semicorex fornece barcos de wafer, pedestais e transportadores de wafer personalizados para configurações verticais/colunas e horizontais. Somos fabricantes e fornecedores de filme de revestimento de carboneto de silício há muitos anos. Nosso Barco Wafer Cerâmico tem uma boa vantagem de preço e cobre a maior parte dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Apresentando nosso barco de wafer cerâmico de carboneto de silício de alta qualidade, projetado para fornecer uma solução confiável para processamento de wafer em vários setores. Esses pedestais de cerâmica são fabricados com cerâmica de alta pureza, que oferecem excelente resistência a choque térmico, abrasão e corrosão química, tornando-os ideais para ambientes severos de processamento de wafers.
Nosso barco wafer de cerâmica também é altamente personalizado e podemos trabalhar com você para criar pedestais personalizados para atender às suas especificações exclusivas. Temos orgulho de nossa capacidade de fornecer produtos confiáveis e de alta qualidade que atendam às demandas de nossos clientes. Nosso Barco Wafer de Cerâmica é feito para durar e oferecer uma longa vida útil, garantindo que você obtenha o máximo valor do seu investimento.
Faça seu pedido agora e experimente os benefícios de nosso barco de wafer cerâmico de alta qualidade em suas operações de processamento de wafer.

Parâmetros do barco wafer cerâmico

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Carboneto de silício sinterizado de reação	Carboneto de silício sinterizado sem pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15±0,03	2,60-2,70
Resistência à Flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistência à Compressão	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botão	2700	2800	/
Quebrando a Tenacidade	MPam1/2	4.5	4	/
Condutividade Térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de Expansão Térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor Específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	GP	360	410	240

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. O RBSiC deve infiltrar Si livre no carboneto de silício a baixa temperatura, o SSiC é formado por encolhimento natural a 2.100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Diferentes tempos de uso sob diferentes PH e temperatura, SSiC é mais longo que RBSiC

Características do barco wafer de cerâmica

Fabricado com cerâmica de alumina de alta pureza para excelente resistência a choque térmico, abrasão e corrosão química
Projetado para suporte e estabilidade ideais durante o processamento de wafers, minimizando o risco de danos ou contaminação
Disponível em uma variedade de tamanhos para acomodar diferentes diâmetros e espessuras de wafers
Personalizável para atender especificações exclusivas
Construído para durar e oferecer uma longa vida útil