Bolacha de Cerâmica

A Semicorex fornece barcos de wafer, pedestais e transportadores de wafer personalizados para configurações verticais/de coluna e horizontais. Há muitos anos que somos fabricantes e fornecedores de película de revestimento de carboneto de silício. Nosso Ceramic Wafer Boat tem uma boa vantagem de preço e cobre a maioria dos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Apresentamos nosso Wafer Boat Cerâmico de carboneto de silício de alta qualidade, projetado para fornecer uma solução confiável para o processamento de wafer em vários setores. Esses pedestais de cerâmica são fabricados com cerâmica de alta pureza, que oferece excelente resistência a choque térmico, abrasão e corrosão química, tornando-os ideais para ambientes hostis de processamento de wafer.
Nosso Ceramic Wafer Boat também é altamente personalizado e podemos trabalhar com você para criar pedestais personalizados para atender às suas especificações exclusivas. Temos orgulho de nossa capacidade de fornecer produtos confiáveis e de alta qualidade que atendem às demandas de nossos clientes. Nosso barco de wafer de cerâmica é feito para durar e oferecer uma longa vida útil, garantindo que você obtenha o máximo valor de seu investimento.
Faça seu pedido agora e experimente os benefícios do nosso Wafer Boat de alta qualidade em suas operações de processamento de wafer.

Parâmetros do Barco Cerâmico Wafer

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Reação de carboneto de silício sinterizado	Carboneto de Silício Sinterizado Sem Pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistência à flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Força compressiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Knoop	2700	2800	/
Quebrando Tenacidade	MPa m1/2	4.5	4	/
Condutividade térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansão térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	Gpa	360	410	240

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. RBSiC é para infiltrar Si livre em carboneto de silício a baixa temperatura, SSiC é formado por encolhimento natural a 2100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Tempo de uso diferente sob PH e temperatura diferentes, SSiC é mais longo que RBSiC

Características do Barco Cerâmico Wafer

Feito com cerâmica de alumina de alta pureza para excelente resistência a choque térmico, abrasão e corrosão química
Projetado para suporte e estabilidade ideais durante o processamento de wafer, minimizando o risco de danos ou contaminação
Disponível em uma variedade de tamanhos para acomodar diferentes diâmetros e espessuras de wafer
Personalizável para atender a especificações exclusivas
Construído para durar e oferecer uma longa vida útil