Manga de Eixo de Cerâmica

A Semicorex fornece cerâmica de grau semicondutor para suas ferramentas de semifabricação OEM e componentes de manuseio de wafer. Há muitos anos que somos fabricantes e fornecedores de película de revestimento de carboneto de silício. Nossa luva de eixo de cerâmica tem uma boa vantagem de preço e cobre a maioria dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O carboneto de silício (SiC) é uma cerâmica fina semicondutora sintética que se destaca em uma ampla seção transversal de mercados industriais. A Manga de Eixo de Cerâmica Semicorex tem a disponibilidade de estruturas porosas abertas e de alta densidade, também combinadas com a excelente resistência a altas temperaturas e choque térmico do material, juntamente com propriedades mecânicas inerentemente impressionantes. Podemos processar todos os tipos de Manga de Eixo de Cerâmica aos requisitos dos clientes.

Parâmetros da luva de eixo de cerâmica

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Reação de carboneto de silício sinterizado	Carboneto de Silício Sinterizado Sem Pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistência à flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Força compressiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Knoop	2700	2800	/
Quebrando Tenacidade	MPa m1/2	4.5	4	/
Condutividade térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansão térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	Gpa	360	410	240

A Semicorex produziu a manga de eixo de cerâmica em três formas, carboneto de silício sinterizado de reação (RBSiC), carboneto de silício sinterizado sem pressão (SSiC) e carboneto de silício recristalizado (R-SiC).

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. RBSiC é para infiltrar Si livre em carboneto de silício a baixa temperatura, SSiC é formado por encolhimento natural a 2100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Tempo de uso diferente sob PH e temperatura diferentes, SSiC é mais longo que RBSiC

Características da manga de eixo de cerâmica

- Alta resistência (dureza Mohs 9,5, perdendo apenas para o diamante)

- Resistência à corrosão a ácidos, álcalis, sais e solventes orgânicos

- Alta condutividade térmica, resistência de plasma, longa vida

- Semicondutores

Formas disponíveis de cerâmica de carboneto de silícioï¼

Haste de cerâmica / pino de cerâmica / êmbolo de cerâmica

Tubo de cerâmica / bucha de cerâmica / luva de cerâmica

Anel de cerâmica / arruela de cerâmica / espaçador de cerâmica

Disco de cerâmica

Placa de cerâmica / bloco de cerâmica