Lote Wafer Boat

A Semicorex fornece barcos de wafer, pedestais e transportadores de wafer personalizados para configurações verticais/de coluna e horizontais. Há muitos anos que somos fabricantes e fornecedores de película de revestimento de carboneto de silício. Nosso Batch Wafer Boat tem uma boa vantagem de preço e cobre a maioria dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O Semicorex Batch Wafer Boat é feito de material cerâmico de carboneto de silício de alta qualidade para resistência química superior e estabilidade térmica.
Nosso Batch Wafer Boat tem um acabamento de superfície suave e fornece excelente suporte e proteção durante o processamento. O revestimento de SiC garante uniformidade e estabilidade durante o processamento, protegendo os wafers contra contaminação e danos. Com excelente condutividade térmica e resistência mecânica superior, nossos suportes de wafer fornecem resultados consistentes e confiáveis.
Nossa equipe de especialistas está empenhada em fornecer a melhor qualidade e serviço. Oferecemos projetos personalizados para atender às suas necessidades específicas, e nossos barcos de wafer em lote são apoiados por nosso programa de garantia de qualidade.

Parâmetros do Batch Wafer Boat

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Reação de carboneto de silício sinterizado	Carboneto de Silício Sinterizado Sem Pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistência à flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Força compressiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Knoop	2700	2800	/
Quebrando Tenacidade	MPa m1/2	4.5	4	/
Condutividade térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansão térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	Gpa	360	410	240

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. RBSiC é para infiltrar Si livre em carboneto de silício a baixa temperatura, SSiC é formado por encolhimento natural a 2100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Tempo de uso diferente sob PH e temperatura diferentes, SSiC é mais longo que RBSiC

Características do Batch Wafer Boat

- Alta resistência (dureza Mohs 9,5, perdendo apenas para o diamante)
- Resistência à corrosão a ácidos, álcalis, sais e solventes orgânicos
- Alta condutividade térmica, resistência de plasma, longa vida
- Semicondutores