Barco de wafer em lote

A Semicorex fornece barcos de wafer, pedestais e transportadores de wafer personalizados para configurações verticais/colunas e horizontais. Somos fabricantes e fornecedores de filme de revestimento de carboneto de silício há muitos anos. Nosso Batch Wafer Boat tem uma boa vantagem de preço e cobre a maior parte dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Os barcos de wafer em lote Semicorex são feitos de material cerâmico de carboneto de silício de alta qualidade para resistência química superior e estabilidade térmica.
Nosso Batch Wafer Boat tem um acabamento de superfície liso e fornece excelente suporte e proteção de wafer durante o processamento. O revestimento SiC garante uniformidade e estabilidade durante o processamento, protegendo os wafers contra contaminação e danos. Com excelente condutividade térmica e resistência mecânica superior, nossos porta-wafers fornecem resultados consistentes e confiáveis.
Nossa equipe de especialistas está comprometida em fornecer a melhor qualidade e serviço. Oferecemos designs personalizados para atender às suas necessidades específicas, e nossos barcos wafer em lote são apoiados por nosso programa de garantia de qualidade.

Parâmetros do barco wafer em lote

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Carboneto de silício sinterizado de reação	Carboneto de silício sinterizado sem pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15±0,03	2,60-2,70
Resistência à Flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistência à Compressão	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botão	2700	2800	/
Quebrando a Tenacidade	MPam1/2	4.5	4	/
Condutividade Térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de Expansão Térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor Específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	GP	360	410	240

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. O RBSiC deve infiltrar Si livre no carboneto de silício a baixa temperatura, o SSiC é formado por encolhimento natural a 2.100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Diferentes tempos de uso sob diferentes PH e temperatura, SSiC é mais longo que RBSiC

Características do barco wafer em lote

- Alta resistência (dureza Mohs 9,5, perdendo apenas para o diamante)
- Resistência à corrosão de ácidos, álcalis, sais e solventes orgânicos
- Alta condutividade térmica, resistência ao plasma, longa vida
- Semicondutores