Susceptor com Grade

Susceptor Semicorex com Grade é um componente especializado usado no processo de crescimento epitaxial de wafers semicondutores. Este equipamento crítico foi projetado para transportar e apoiar os wafers durante a deposição de materiais em um sistema de Deposição de Vapor Químico Metal-Orgânico (MOCVD). O Susceptor com Grade desempenha um papel fundamental na garantia do crescimento uniforme e controlado das camadas epitaxiais no wafer semicondutor.

O Susceptor com Grade é construído com materiais otimizados para sua função. Neste caso, é feito de grafite revestido com MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide). Esta escolha de materiais oferece diversas vantagens, incluindo resistência a altas temperaturas, estabilidade química e excelente condutividade térmica. O revestimento de SiC no grafite aumenta a durabilidade e a resistência do susceptor às condições adversas encontradas durante o processo de crescimento epitaxial.

A estrutura Susceptor com Grade serve como mecanismo de suporte para os wafers semicondutores. Ele foi estrategicamente projetado para manter os wafers no lugar com segurança, permitindo ao mesmo tempo o fluxo eficiente de gases e a deposição uniforme de materiais. O padrão de grade ajuda a distribuir o calor e os reagentes uniformemente pela superfície do wafer, contribuindo para o controle preciso da espessura e composição da camada epitaxial.

O Semicorex Susceptor with Grid é um componente crítico no processo de fabricação de dispositivos semicondutores avançados. Sua construção robusta e design especializado fazem dele uma ferramenta essencial para alcançar um crescimento epitaxial de alta qualidade, garantindo a produção de semicondutores com desempenho e confiabilidade superiores.