Aletas de carboneto de silício sólido

Sólido Semicorexaletas de carboneto de silíciosão normalmente instalados como componentes de isolamento térmico dentro de tubos de fornos verticais de equipamentos de tratamento térmico de semicondutores, como fornos de recozimento RTP e fornos de difusão. As aletas sólidas de carboneto de silício Semicorex podem regular com eficácia a distribuição de temperatura em fornos de alta temperatura e minimizar os danos térmicos às peças de vedação da porta do processo causados ​​por altas temperaturas. Em condições operacionais de oxidação úmida, as aletas sólidas de carboneto de silício Semicorex podem ser usadas para prevenir eficazmente impactos negativos nos resultados do processo e nos dispositivos semicondutores causados ​​pela condensação do vapor de água em temperaturas de processo relativamente baixas.

As vantagens das aletas sólidas de carboneto de silício Semicorex

1. Excelente resistência ao desgaste

CVD SiC apresenta uma estrutura cristalina cúbica policristalina, com dureza excepcional, perdendo apenas para o diamante. A excelente resistência ao desgaste das aletas sólidas de carboneto de silício Semicorex é atribuída a esta propriedade, fazendo com que resistam à abrasão durante o manuseio e substituição.

2. Capacidade superior de gerenciamento térmico

CVD SiC oferece excelente resistência térmica e estabilidade em altas temperaturas, que não derrete nem amolece em temperaturas de até aproximadamente 2.000°C e mantém sua estabilidade antes da sublimação em temperaturas ultra-altas. Graças a essas características térmicas superiores, as aletas sólidas de carboneto de silício Semicorex são altamente adequadas para as desafiadoras condições de processamento de tratamento térmico de semicondutores.

3. Limpeza ultra-elevada

CVD-SiCé produzido sem aditivos de sinterização durante o processo de deposição. Comparado com o carboneto de silício ligado por reação convencional, apresenta uma pureza muito maior, atingindo mais de 99,9995%. Isso evita efetivamente a contaminação por impurezas metálicas das aletas de carboneto de silício sólido da Semicorex causada por altas temperaturas em ambientes de processo, atendendo perfeitamente aos requisitos de limpeza da fabricação avançada de semicondutores.

4. Resistência confiável à corrosão

As aletas sólidas de carboneto de silício Semicorex podem suportar gases de processo altamente oxidantes e fortemente ácidos empregados em processos de tratamento térmico de semicondutores, devido à excepcional inércia química do CVD SiC em altas temperaturas. Esta resistência confiável à corrosão prolonga efetivamente sua vida útil, reduzindo os custos de substituição de componentes.

5. Precisão de usinagem precisa

Para garantir a compatibilidade com diferentes tubos de forno, a Semicorex pode personalizar aletas sólidas de carboneto de silício de acordo com os requisitos do cliente em termos de diâmetro, espessura, tamanho do furo, planicidade e tolerâncias dimensionais. Essa precisão de usinagem de alto padrão garante a operação estável das aletas do equipamento e ajuda a otimizar a eficiência geral das aplicações de tratamento térmico de semicondutores.