Mandris de carboneto de silício

Semicorexmandris de carboneto de silíciosão dispositivos de adsorção funcionais feitos decarboneto de silício(SiC) material cerâmico. Eles são usados ​​​​principalmente em semicondutores, energia fotovoltaica, fabricação de precisão e outros cenários que possuem requisitos extremamente elevados de resistência a altas temperaturas, resistência ao desgaste, resistência à corrosão química e limpeza de materiais.

Transferência e processamento de wafer: Em processos como fotolitografia e gravação, o wafer precisa ser adsorvido de forma estável em um ambiente de vácuo para evitar erros de deslocamento.

Características típicas dos mandris de carboneto de silício Semicorex

1.Alta precisão: o nivelamento é de 0,3-0,5μm.

2. Polimento de espelho

3. Peso ultraleve

4.Alta rigidez

5. Baixo coeficiente de expansão térmica

6.Excelente resistência ao desgaste

Os cenários de aplicação de mandris de carboneto de silício

Fabricação de semicondutores

Transferência e processamento de wafer: Em processos como fotolitografia e gravação, o wafer precisa ser adsorvido de forma estável em um ambiente de vácuo para evitar erros de deslocamento.

Resistência à corrosão plasmática: No processo de gravação de semicondutores, a excelente resistência à corrosão pode prolongar a vida útil do produto.

Produção de células fotovoltaicas

Corte de wafer de silício: Adsorve wafers de silício para resistir à vibração de corte e reduzir a taxa de fragmentação de wafers de silício.

Fabricação de óptica e eletrônicos de precisão

Processamento de substrato de safira: Os substratos de safira usados ​​na fabricação de chips LED requerem adsorção a vácuo. A força de adsorção deve superar o peso do substrato e evitar riscar a superfície do produto.

Os mandris de carboneto de silício tornaram-se consumíveis essenciais no campo da fabricação de ponta devido ao seu excelente desempenho, promovendo o progresso tecnológico em indústrias como semicondutores, energia fotovoltaica e fabricação de precisão.