China Cerâmica Fabricantes, Fornecedores, Fábrica

A Semicorex é sua parceira para melhoria no processamento de semicondutores. Nossos revestimentos de carboneto de silício são densos, resistentes a altas temperaturas e a produtos químicos, que são frequentemente usados ​​em todo o ciclo de fabricação de semicondutores, incluindo wafer semicondutor, processamento de wafer e fabricação de semicondutores.

Componentes cerâmicos de SiC de alta pureza são cruciais para processos no semicondutor. Nossa oferta varia de peças consumíveis para equipamentos de processamento de wafer, como barco wafer de carboneto de silício, pás cantilever, tubos, etc. para Epitaxy ou MOCVD.

Vantagens para processos de semicondutores

As fases de deposição de filme fino, como epitaxia ou MOCVD, ou processamento de manuseio de wafer, como gravação ou implante iônico, devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa. A Semicorex fornece construção de carboneto de silício (SiC) de alta pureza que oferece resistência superior ao calor e resistência química durável, até mesmo uniformidade térmica para espessura e resistência consistentes da camada epi.

Tampas de Câmara →
As tampas de câmara usadas no crescimento de cristais e no processamento de manuseio de wafers devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa.

Remo cantilever →
Cantilever Paddle é um componente crucial usado em processos de fabricação de semicondutores, particularmente em fornos de difusão ou LPCVD durante processos como difusão e RTP.

Tubo de Processo →
O Process Tube é um componente crucial, projetado especificamente em várias aplicações de processamento de semicondutores, como RTP e difusão.

Barcos Wafer →
O Wafer Boat é usado no processamento de semicondutores e foi meticulosamente projetado para garantir que os delicados wafers sejam mantidos seguros durante os estágios críticos de produção.

Anéis de entrada →
Anel de entrada de gás revestido de SiC pelo equipamento MOCVD O crescimento do composto possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.

Anel de foco →
A Semicorex fornece anel de foco revestido com carboneto de silício que é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.

Mandril de wafer →
Os mandris de wafer de cerâmica ultraplanos Semicorex são revestidos com SiC de alta pureza no processo de manuseio de wafer.

A Semicorex também possui produtos cerâmicos em Alumina (Al2O3), Nitreto de Silício (Si3N4), Nitreto de Alumínio (AIN), Zircônia (ZrO2), Cerâmica Composta, etc.