Receptor de disco SiC

Com um profundo compromisso com a qualidade e inovação, o Susceptor de Disco SiC ultrapuro da Semicorex estabelece um novo padrão de desempenho em equipamentos epitaxia, MOCVD e RTP. Ao combinar excepcional resistência ao choque térmico, condutividade térmica superior, excelente resistência química e pureza ultra-alta, esses componentes projetados capacitam os fabricantes de semicondutores a alcançar eficiência, confiabilidade e qualidade de produto incomparáveis. As soluções personalizáveis ​​da Semicorex garantem ainda que cada aplicação de processamento térmico se beneficie de componentes otimizados e projetados com precisão, projetados para atender às suas demandas exclusivas.

Excelente resistência ao choque térmico:O Susceptor de Disco SiC se destaca por resistir a rápidas flutuações de temperatura, que são comuns em RTP e outros processos de alta temperatura. Esta excepcional resistência ao choque térmico garante integridade estrutural e longevidade, minimizando o risco de danos ou falhas devido a mudanças repentinas de temperatura e aumentando a confiabilidade do equipamento de processamento térmico.

Condutividade Térmica Superior:A transferência eficiente de calor é crítica em aplicações de processamento térmico. A excelente condutividade térmica do Susceptor de Disco SiC garante aquecimento e resfriamento rápidos e uniformes, essenciais para controle preciso da temperatura e uniformidade do processo. Isso leva a uma maior eficiência do processo, tempos de ciclo reduzidos e wafers semicondutores de maior qualidade.

Resistência Química Excepcional:O susceptor de disco SiC oferece excelente resistência a uma ampla gama de produtos químicos corrosivos e reativos usados ​​em processos de epitaxia, MOCVD e RTP. Esta inércia química protege o grafite subjacente da degradação, evita a contaminação do ambiente do processo e garante um desempenho consistente durante longos períodos operacionais.

Pureza Ultra-Alta: O Susceptor de Disco SiC é fabricado com padrões de pureza ultra-elevados tanto para revestimento de grafite quanto de SiC, evitando o potencial de contaminação e garantindo a produção de dispositivos semicondutores livres de defeitos. Este compromisso com a pureza significa rendimentos mais elevados e melhor desempenho do dispositivo.

Disponibilidade de formas complexas:Os recursos avançados de fabricação da Semicorex permitem a produção do Susceptor de Disco SiC em formatos complexos adaptados às necessidades específicas do cliente. Essa flexibilidade permite o projeto de soluções personalizadas que atendem às necessidades precisas de diversas aplicações de processamento térmico, melhorando a eficiência do processo e a compatibilidade do equipamento.

Utilizável em atmosferas oxidantes:O robusto revestimento CVD SiC oferece excelente proteção contra oxidação, permitindo que o SiC Disc Susceptor funcione de maneira confiável em ambientes oxidantes. Isto expande a sua aplicabilidade a uma gama mais ampla de processos térmicos, garantindo versatilidade e adaptabilidade.

Desempenho robusto e repetível:Projetado para ambientes de alta temperatura e vácuo, o SiC Disc Susceptor oferece desempenho robusto e repetível. Sua durabilidade e consistência os tornam ideais para aplicações críticas de processamento térmico, reduzindo o tempo de inatividade, os custos de manutenção e garantindo confiabilidade operacional a longo prazo.

A Semicorex é especializada na personalização de componentes revestidos com CVD SiC para atender às diversas necessidades de equipamentos de processamento térmico, incluindo:

Difusores:Melhore a uniformidade da distribuição de gás e a consistência do processo.

Isoladores:Fornece isolamento térmico e proteção em ambientes de alta temperatura.

Outros componentes térmicos personalizados:Soluções personalizadas projetadas para atender requisitos específicos de processo e otimizar o desempenho do equipamento.