Peça LPE

As peças Semicorex LPE são componentes revestidos de SiC de alto desempenho projetados especificamente para uso no processo de epitaxia de SiC. Esses componentes são projetados para suportar as condições exigentes de crescimento de cristais de SiC, proporcionando estabilidade térmica, resistência química e resistência mecânica superiores. Ao escolher as peças LPE da Semicorex, você tem garantia de excepcional durabilidade, precisão e uma solução personalizada para suas necessidades de processo de epitaxia de SiC.

As peças Semicorex LPE são fabricadas com materiais avançados e técnicas de fabricação precisas, garantindo consistência e confiabilidade em cada unidade. As propriedades físicas e químicas do revestimento possuem requisitos rígidos de resistência a altas temperaturas e resistência à corrosão, que afetam diretamente o rendimento e a vida útil do produto. O material SiC possui alta resistência, alta dureza, baixo coeficiente de expansão térmica e boa condutividade térmica. É um importante material estrutural de alta temperatura e um material semicondutor de alta temperatura. É aplicado em bases de grafite. Suas vantagens são:

1) O SiC é resistente à corrosão e pode envolver totalmente a base de grafite, e tem boa densidade para evitar danos por gases corrosivos. 2) O SiC possui alta condutividade térmica e alta resistência de ligação com a base de grafite, garantindo que o revestimento não caia facilmente após passar por vários ciclos de alta e baixa temperatura. 3) O SiC possui boa estabilidade química para evitar a falha do revestimento em uma atmosfera corrosiva e de alta temperatura. Além disso, fornos epitaxiais de diferentes materiais requerem bandejas de grafite com diferentes indicadores de desempenho. A correspondência do coeficiente de expansão térmica dos materiais de grafite requer adaptação à temperatura de crescimento do forno epitaxial. Por exemplo, a temperatura da epitaxia de carboneto de silício é alta e é necessária uma bandeja com um alto coeficiente de expansão térmica correspondente. O coeficiente de expansão térmica do SiC é muito próximo ao do grafite, tornando-o adequado como material preferido para o revestimento superficial da base de grafite.

Aplicações no Processo SiC Epitaxy

O processo de epitaxia de SiC é uma etapa crítica na produção de wafers de SiC de alta qualidade usados ​​para dispositivos semicondutores, incluindo eletrônica de potência e optoeletrônica. As peças LPE, especialmente aquelas com revestimentos de SiC, desempenham um papel essencial no controle preciso da temperatura e das reações químicas dentro do reator. Esses componentes são estrategicamente colocados no reator para facilitar o crescimento ideal do wafer, mantendo a pureza e a uniformidade dos cristais de SiC.

Na Semicorex, entendemos que cada processo de epitaxia de SiC possui requisitos únicos. É por isso que nossas peças LPE podem ser totalmente customizadas para atender às necessidades específicas de sua operação. Quer se trate do tamanho, formato ou espessura do revestimento, nossa equipe de engenharia trabalha em estreita colaboração com os clientes para fornecer componentes que otimizem seus processos de produção.

O revestimento SiC de alta qualidade aplicado às nossas peças também garante durabilidade superior. Ao contrário dos materiais convencionais, o SiC oferece uma vida útil mais longa em condições operacionais adversas, reduzindo a frequência de manutenção e o tempo de inatividade. Essa longevidade se traduz em custos operacionais mais baixos e maior eficiência para os fabricantes de semicondutores.

As peças Semicorex LPE são projetadas com precisão e projetadas para atender às rigorosas demandas do processo de epitaxia de SiC. Nossos componentes são produzidos com tecnologia de ponta, garantindo desempenho e longevidade incomparáveis. Ao escolher a Semicorex, você está selecionando um parceiro que entende as complexidades da fabricação de semicondutores e está comprometido em fornecer produtos confiáveis ​​e de alta qualidade que melhorem suas capacidades de produção.

Peças Semicorex LPE, com seusRevestimento de SiC, são a escolha ideal para melhorar o desempenho e a longevidade dos reatores de epitaxia de SiC. Esses componentes fornecem estabilidade térmica, resistência química e resistência mecânica superiores, garantindo que o processo de crescimento do cristal de SiC ocorra de maneira suave e eficiente. Com opções de personalização disponíveis, a Semicorex oferece uma solução personalizada que atende aos seus requisitos específicos de processo, tornando-nos o parceiro confiável para fabricantes de semicondutores em todo o mundo.