Anel superior epi de 8 polegadas

O anel superior EPI semicorex de 8 polegadas é um componente especializado dos sistemas de deposição epitaxial (EPI) que fornecem alto desempenho como o anel de tampa superior na câmara de reação. Com foco na integridade estrutural e estabilidade térmica durante o crescimento epitaxial das bolachas semicondutoras, o anel superior do EPI é feito de grafite de alta pureza e revestido com carboneto de silício (sic) para suportar a temperatura e os ambientes quimicamente reativos da fabricação de semicondutores.

Nos reatores epitaxiais, o anel superior ajuda a reter o ambiente de bolacha e desempenha um papel importante na uniformidade da temperatura e no fluxo de gás durante a deposição como parte da montagem do suscettor. O revestimento SiC no substrato de grafite fornece ao anel superior EPI a estabilidade térmica e o ambiente inerte necessário para proteger o núcleo de grafite devido à exposição aos gases dos processos durante o desempenho do anel superior do EPI (hidrogênio, silano, clorossilan, etc.). A dureza e a condutividade da camada SiC aumentam o desempenho do anel superior do EPI, impedindo a degradação e permitindo camadas mais estáveis ao longo do ciclo de produção.

Com um compromisso com a precisão dimensional, a consistência do revestimento e a repetibilidade, o anel superior EPI de 8 polegadas é fabricado com engenharia de precisão. O substrato de grafite é usinado a tolerâncias rígidas e purificado termicamente para segregar impurezas, fornecendo um substrato limpo com excelente pureza e força. O revestimento SiC é aplicado através da deposição de vapor químico (DCV), para formar uma camada protetora densa, consistente e fortemente ligada. Esse processo minimiza a geração de partículas e permite que o revestimento mantenha a integridade da superfície durante o uso prolongado.

Os fabricantes de semicondutores dependem do anel superior do EPI para manter parâmetros críticos da câmara e suportar as bolachas sem defeitos durante a produção. A configuração foi projetada para uso com os principais sistemas de processamento de wafer OEM de 8 polegadas. As opções personalizadas estão disponíveis para espessura, acabamento superficial e projetos de ranhura para melhor gerenciamento térmico ou mesmo distribuição de gás.

A conformidade das propriedades da grafite revestida com SiC para este aplicativo leva a combinação das melhores propriedades dos dois materiais; A grafite é muito usinável e possui resistência ao choque térmico combinado com carboneto de silício, que é mais difícil, resistente à corrosão e tem uma vida útil mais longa. Essa combinação oferece um anel superior do EPI que é confiável em alta temperatura e garante um ambiente de processamento limpo e estável que reduz os intervalos de manutenção e fornece tempo de atividade aprimorado geral do equipamento.

Os componentes de grafite desempenham um papel indispensável e crucial na fabricação de semicondutores. A qualidade do material de grafite afeta significativamente a qualidade do produto acabado. Nossa consistência e homogeneidade do material em lote de grafite são controladas e garantidas ao longo do processo de produção.

1. Produção de lotes pequenos, usando um pequeno forno de carbonização com uma capacidade de apenas 50 metros cúbicos.

2. Cada pedaço de material é monitorado e rastreado.

3. Monitoramento da temperatura em vários pontos dentro do forno garante diferenças mínimas de temperatura.

4. Monitoramento de temperatura em vários pontos do material garante diferenças mínimas de temperatura.

O anel superior EPI de 8 polegadas por semicorex oferece desempenho excepcional, consistência em lote a lote e confiabilidade comprovada nos processos de silício de silício de semicondutores mais difíceis ou outros processos de epitaxia semicondutores compostos. Em todas as etapas de fabricação, produzimos produtos com controle de qualidade, o que significa que todos os produtos adquiridos para a indústria de semicondutores excedem as especificações de qualidade.

Selecione o anel superior EPI de 8 polegadas da Semicorex para o seu aplicativo de epitaxia para aproveitar as possibilidades oferecidas por meio de engenharia de precisão, materiais superiores e personalização específica de aplicação para melhorar os rendimentos e o desempenho do dispositivo.