O Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier é projetado para suportar as condições mais difíceis do ambiente de deposição. Com sua alta resistência ao calor e à corrosão, este produto é projetado para fornecer desempenho ideal para crescimento epitaxial. O suporte revestido de SiC possui alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor, garantindo um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
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