A placa transportadora RTP de grafite SiC Semicorex para MOCVD oferece resistência térmica superior e uniformidade térmica, tornando-a a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor. Com um grafite revestido de SiC de alta qualidade, este produto é projetado para suportar o ambiente de deposição mais severo para crescimento epitaxial. A alta condutividade térmica e as excelentes propriedades de distribuição de calor garantem um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
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