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Anéis de foco duráveis ​​para processamento de semicondutores

Os anéis de foco duráveis ​​Semicorex para processamento de semicondutores são projetados para suportar os ambientes extremos das câmaras de gravação de plasma usadas no processamento de semicondutores. Nossos anéis de foco são feitos de grafite de alta pureza revestido com um revestimento de carboneto de silício (SiC) denso e resistente ao desgaste. O revestimento de SiC possui altas propriedades de resistência à corrosão e ao calor, bem como excelente condutividade térmica. Aplicamos SiC em camadas finas sobre o grafite usando o processo de deposição de vapor químico (CVD) para melhorar a vida útil de nossos anéis de foco.