A fabricação de semicondutores, a pedra angular do avanço tecnológico moderno, está em constante busca por circuitos integrados menores, mais rápidos e mais eficientes. Essa busca incansável impulsiona a necessidade de processos de fabricação cada vez mais precisos e sofisticados, onde cada etapa de......
consulte Mais informaçãoOs mandris eletrostáticos (ESCs) tornaram-se indispensáveis na fabricação de semicondutores e na produção de telas planas, oferecendo um método altamente controlável e livre de danos para segurar e posicionar wafers e substratos delicados durante etapas críticas de processamento. Este artigo inves......
consulte Mais informaçãoO desenvolvimento do 3C-SiC, um politipo significativo de carboneto de silício, reflete o avanço contínuo da ciência dos materiais semicondutores. Na década de 1980, Nishino et al. alcançou pela primeira vez um filme 3C-SiC de 4 μm de espessura em um substrato de silício usando deposição química de ......
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