Anéis de foco cerâmicos para semicondutores

Cerâmica semicorexanel de focoOs softwares para semicondutores são as soluções ideais sob medida para as duras condições operacionais de gravação a plasma. Durante o sofisticado processo de gravação de semicondutores, é crucial controlar com precisão a distribuição do plasma, o que pode garantir a estabilidade da câmara de gravação e a uniformidade consistente da gravação de semicondutores. Como componentes indispensáveis ​​usados ​​no equipamento de gravação avançado, os anéis de foco são normalmente posicionados ao redor dos wafers semicondutores e entram em contato direto com eles. O desempenho dos anéis de foco exerce impactos diretos na repetibilidade do processo, no rendimento do produto e no tempo de atividade do equipamento.

Vantagens dos anéis de foco cerâmico Semicorex para semicondutores

1. Pureza de material ultra-alta

A pureza do nossoSiC CVDmaterial excede 99,9995%. Isso pode prevenir eficazmente a contaminação da câmara de gravação e dos wafers semicondutores causada pela pureza insuficiente do material.

2. Resistência excepcional à corrosão

Os anéis de foco cerâmicos Semicorex para semicondutores são feitos de CVD SiC, apresentando excelente resistência à oxidação, erosão e corrosão química, sendo especialmente eficazes contra gases de processo como HF e HCI, bem como gás de plasma.

3. Desempenho de resistência superior

A uniformidade da resistência dos anéis de foco cerâmicos Semicorex para semicondutores é inferior a 5%.

Faixas de resistividade: Baixa resolução. (<0,02 Ω·cm), resolução média. (0,2–25 Ω·cm), alta resolução. (>100 Ω·cm).

Funções dos anéis de foco cerâmico Semicorex para semicondutores

1.Controle e uniformize o campo elétrico de borda e a distribuição de plasma

Os anéis de foco cerâmico Semicorex para semicondutores podem controlar a distribuição do campo elétrico dentro da câmara de gravação e obter uma bainha de plasma mais uniforme em torno dos wafers semicondutores, permitindo que o plasma incida na superfície do wafer de maneira vertical e uniforme. Desta forma, o efeito da borda da gravação pode ser bastante reduzido e a precisão da gravação pode ser significativamente melhorada.

2.Proteja o mandril eletrostático

Sem a proteção dos anéis de foco no processo de gravação, o mandril eletrostático ficará exposto ao bombardeio e à erosão do plasma de alta energia. Os mandris eletrostáticos são feitos de materiais de alto custo e com despesas de reposição extremamente altas. O uso de anéis de foco pode efetivamente reduzir a corrosão do plasma no mandril eletrostático e minimizar os custos de manutenção e substituição do mandril eletrostático.