O Semicorex Silicon Annealing Boat, meticulosamente projetado para manusear e processar wafers de silício, desempenha um papel crucial na obtenção de dispositivos semicondutores de alto desempenho. Seus recursos exclusivos de design e propriedades de material o tornam essencial para etapas críticas de fabricação, como difusão e oxidação, garantindo processamento uniforme, maximizando o rendimento e contribuindo para a qualidade e confiabilidade geral dos dispositivos semicondutores.**
Pureza Ultra-Alta para Ambientes de Processamento Imaculados: O Barco de Recozimento de Silício Semicorex, fabricado com silício de altíssima pureza (pureza de até 13N), minimiza o risco de contaminação durante o processamento em alta temperatura. Essa pureza excepcional garante que os wafers sejam expostos a um ambiente puro, evitando a introdução de impurezas indesejadas que podem degradar o desempenho do dispositivo e reduzir o rendimento.
Contato reduzido do wafer para danos minimizados:A superfície lisa e polida do barco de recozimento de silicone minimiza os pontos de contato com os wafers, reduzindo significativamente o risco de arranhões, lascas ou outros danos mecânicos durante o transporte e processamento. Esse manuseio cuidadoso preserva a integridade dos wafers, melhorando o rendimento geral do processo e contribuindo para dispositivos de maior qualidade.
Projetos personalizáveis para desempenho otimizado: Os projetos do barco de recozimento de silicone podem ser adaptados para atender aos requisitos específicos do processo, incluindo variações no formato do barco, comprimento, ângulo e número de dentes de suporte do wafer. Essa personalização permite a otimização da dinâmica do fluxo de gás, da uniformidade da temperatura e do espaçamento dos wafers dentro do forno, garantindo resultados de processamento consistentes e repetíveis para uma ampla gama de geometrias de dispositivos e parâmetros de processo.
Limite de Deposição de Polissilício Alto para Operação Estendida:O barco de recozimento de silício apresenta uma alta tolerância à deposição de polissilício, permitindo uma operação prolongada antes que a limpeza ou substituição seja necessária. Essa vida útil prolongada reduz o tempo de inatividade do equipamento associado à manutenção, contribuindo para aumentar a capacidade de produção e reduzir os custos gerais de fabricação.