Barco de wafer de cerâmica SiC

O Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat se distingue por uma combinação única de propriedades de material que o torna ideal para os rigores da fabricação de semicondutores e fotovoltaicos:

Estabilidade inabalável em altas temperaturas:O processamento de wafer geralmente envolve temperaturas extremas que levam os materiais convencionais ao seu limite. O SiC Ceramic Wafer Boat apresenta excepcional resistência a altas temperaturas, mantendo sua integridade estrutural e propriedades mecânicas mesmo em temperaturas superiores a 1650°C (3000°F). Isso permite seu uso em processos críticos, como difusão e recozimento, onde o controle preciso da temperatura e a estabilidade do wafer são fundamentais.

Fortaleza inexpugnável contra a corrosão:Os produtos químicos agressivos e as substâncias agressivas utilizadas na fabricação de semicondutores e fotovoltaicas representam um desafio significativo à integridade do material. O SiC Ceramic Wafer Boat apresenta resistência à corrosão superior em comparação com a maioria dos metais e outras cerâmicas, resistindo à exposição prolongada a uma ampla gama de ácidos, solventes, sais e compostos orgânicos. Esta inércia garante a longevidade do barco, evita a contaminação pela degradação do material e salvaguarda a pureza das etapas críticas do processo.

Limpeza sem esforço para pureza intransigente:Manter superfícies de wafer imaculadas é fundamental para alcançar alto rendimento e desempenho do dispositivo. A superfície não porosa do SiC Ceramic Wafer Boat e a resistência ao ataque químico tornam-no excepcionalmente fácil de limpar. Os contaminantes são facilmente removidos, evitando a contaminação cruzada entre as execuções do processo e garantindo o ambiente imaculado necessário para dispositivos fotovoltaicos e semicondutores de alto desempenho.

Resiliência contra estresse térmico e mecânico:O processamento de wafers geralmente envolve mudanças rápidas de temperatura e manuseio mecânico que podem induzir estresse e danificar materiais suscetíveis. As propriedades mecânicas robustas do SiC Ceramic Wafer Boat, incluindo alta dureza e excepcional resistência ao choque térmico, garantem sua integridade estrutural mesmo sob condições exigentes. Isso minimiza o risco de geração de partículas ou danos ao wafer, contribuindo para rendimentos mais elevados e qualidade consistente do produto.

Transporte sem deslizamento para precisão inabalável:O manuseio preciso do wafer é crucial para evitar danos e garantir um processamento consistente. A lubrificação inerente e o baixo coeficiente de atrito do SiC Ceramic Wafer Boat criam uma superfície naturalmente antiderrapante. Isso permite um movimento suave e controlado do wafer durante o carregamento e descarregamento, minimizando o risco de arranhões, lascas ou outros danos que possam comprometer a integridade do wafer.