Braço sic

Semicorex SiC Arm is a specialized device that was developed to handle wafers with maximum reliability and precision. Os braços de transferência de bolacha, como o braço da SIC, aparecem em equipamentos avançados de fabricação de semicondutores, como reatores epitaxiais, sistemas de implantação de íons, processamento térmico, etc. Os braços de transferência de bolacha são parte integrante do movimento preciso das bolachas em ambientes complexos de manuseio de bolacha para garantir que a transferência segura e precisa de as-pastas seja processada. Constructed using high-puritycarboneto de silíciocombinado com as propriedades da matéria -prima de 

Estabilidade térmica e química excepcional e excelente controle de usinagem, tornam o braço sic uma solução confiável para a fabricação futura de semicondutores.

SiC Arm has its exceptional performance in extreme thermal environments. No crescimento epitaxial, bem como em outros processos de alta temperatura, os componentes de manuseio de wafer podem ser submetidos a calor sustentado que deteriora facilmente as características de um material convencional. Silicon carbide retains both strength and dimensional accuracy (finite dimensional tolerances) at high temperatures, which ensures wafers can remain precisely seated during transfer or processing, and virtually eliminate wafer misalignment, warpage, or contamination. The ceramic with the exceptional performance of a SiC product; like the SiC Arm does not oxidize, distort like a metal, nor have failure performance characteristics like a ceramic, which are stress cracks.

A resistência química é outra propriedade definidora do braço sic. Em ambientes semicondutores, gases corrosivos, produtos químicos reativos e exposição ao plasma são comuns. Um braço de manuseio que se deteriora sob essas condições não apenas corre o risco de falha mecânica, mas também a contaminação das bolachas.Carboneto de silícioprovides a chemically inert surface that withstands these aggressive conditions. O resultado é um componente altamente confiável que mantém a integridade e a limpeza da superfície, protegendo as bolachas de impurezas que podem comprometer o desempenho do dispositivo. This durability significantly reduces equipment downtime, lowers replacement frequency, and enhances process consistency.

Beyond its material resilience, SiC Arm also meets a high degree of machining accuracy. Wafer handling requires accuracy to the micrometer; tolerances that are even slightly out of specification can cause changes in geometry or surface finish that can cause higher risks in wafer breakage or wafer misalignment. By using modern manufacturing technologies, SiC Arms are produced with proper tolerances, flatness, and smooth surfaces. Ser aplicações de alta precisão é ideal para garantir o posicionamento consistente de bolachas e o desempenho repetível durante milhares de ciclos de manuseio, o que é ideal para a produção de semicondutores de alto volume que tem especificações exigentes.

Versatility is another advantage of SiC arms. Different semiconductor tools and processes require arms of different geometries, sizes and designs. Since SiC Arms can be modified to incorporate these specific design characteristics they can easily fit into a wide range of systems, whether it be an epitaxy tool, a piece of ion implantation equipment or a thermal processing reactor. Acabamentos de superfície, projetos estruturais e acabamentos também podem ser modificados e projetados para fornecer o melhor desempenho em relação ao aplicativo específico.

SiC Arms also has operational efficiency. SiC's high durability and reliability mean replacements are infrequent and downtime is minimized; both meaning lower long-term maintenance costs. Para o semicondutor de produção Fabs, isso significa realizar uma melhor taxa de transferência, o potencial de maior estabilidade na produção e maior rendimento de dispositivos.

Os braços do SIC viram uso generalizado desde a sua introdução na comunidade de semicondutores especificamente em sistemas de transferência de wafer, onde eles precisam suportar tensões mecânicas e condições de processamento muito rigorosas. Seja movendo as bolachas para os reatores de epitaxia, mantendo-os no lugar durante a implantação de íons ou transferindo-os através de ambientes de processamento de gás ou térmico, o braço SiC fornece manuseio de bolacha segura, precisa e sem contaminação. Reliability is apparent through the introduction of SiC Arms into the modern semiconductor equipment portfolio.

O braço semicorex sic é uma combinação bem -sucedida das propriedades desejáveis ​​do avançadoMaterial de carboneto de silício, precision engineering and high-temperature stability. A combinação de estabilidade química, a capacidade de ser usinada e a fabricação de precisão torna o braço SiC adequado para fornecer manuseio confiável de wafer nos processos semi-condutores mais difíceis. O braço SiC é personalizável e durável para benefícios consumíveis do usuário final para manuseio de wafer, auxiliando e oferece benefícios no desempenho operacional de longo prazo em relação à eficiência, rendimento e estabilidade do processo. Os fabricantes que procuram sistemas de manuseio de bolas modernos e de ponta ou até de soluções de manuseio de bolachas procuram e confiam no braço sic como um sistema de transferência e manuseio comprovado, de alto desempenho e de wafer para as demandas avançadas da indústria de semicondutores.