Braço de cerâmica de alumina

O braço cerâmico de alumina semicorex é um componente projetado que é desenvolvido para as mais altas especificações para aplicações de semicondutores. Feito de alumina de alta pureza (Al₂o₃), é um braço robótico que apresenta uma combinação única de resistência mecânica, estabilidade térmica e resistência química. O braço não é projetado apenas para ser usado para manuseio de bolacha sozinho, mas também precisa fornecer suporte de processo em locais avançados de fabricação. Ele também deve garantir que as bolachas estejam sendo transferidas, posicionadas e processadas sem contaminação ou dano; Melhorando os rendimentos e a confiabilidade do processo.

Aluminaé uma das cerâmicas técnicas que encontra o uso mais amplo no campo de cerâmica técnica. A alumina é conhecida por sua dureza, resistência ao desgaste e estabilidade em ambientes agressivos. Para os objetivos do braço cerâmico para gerenciar o manuseio de bolacha sem introduzir contaminação, ele pode explorar as propriedades da alumina e proporcionar um nível muito mais alto de resistência à abrasão como conseqüência de sua alta pureza e tamanho de partícula; Portanto, ele não gera partículas excessivas durante seus movimentos repetidos, com bolachas ou com substratos semicondutores de qualquer outro tipo.  A densidade e a baixa porosidade de que ela também hospeda também limitam ainda mais o potencial de partículas que se libertam e garantem que ela atenda aos requisitos ultra limpos do desenvolvimento de semicondutores, sem prejudicar a limpeza necessária para o manuseio do dispositivo submicron.

AluminaPossui estabilidade térmica excepcional, além de sua resistência mecânica. O braço de cerâmica de alumina pode suportar temperaturas extremas do processo sem deformar, rachaduras ou perder força. Essa propriedade o torna ideal para incorporação em qualquer etapa do processo que inclua exposição a temperaturas elevadas, como difusão, oxidação ou etapas de recozimento. As bolachas terão uma confiabilidade melhorada para a transferência em um ambiente de processo desafiador, pois retém a integridade mecânica sob ciclismo térmico.

A resistência química é outro positivo fundamental do braço cerâmico de alumina. Na fabricação de semicondutores, os tratamentos são frequentemente realizados em bolachas que incluem ácidos fortes, álcalis e outros produtos químicos agressivos. Embora os componentes metálicos possam corroer ou lixiviar impurezas, a alumina é quimicamente inerte, o que protege a integridade do braço e das bolachas que ele lida. Portanto, a inércia prolonga a vida útil do componente, reduzindo a possibilidade de contaminação durante etapas críticas do processo, como limpeza úmida ou deposição de vapor químico.

O braço de cerâmica de alumina é projetado com foco na compatibilidade e precisão. Cada braço é feito para tolerâncias dimensionais apertadas, garantindo o alinhamento e o movimento e o movimento precisos da wafer com equipamentos automatizados de manuseio de bolacha e sistemas robóticos. O acabamento superficial suave e polido apresenta uma interface de baixo atrito com a bolacha que reduz a chance de arranhar a bolacha, essencial para a integridade da wafer/limpeza ambiental e redução da taxa de defeitos. Essas tolerâncias de engenharia garantem que o braço opere livremente em um ambiente de alto rendimento em ritmo acelerado e permita os fluxos de trabalho de semicondutores humanos e totalmente automatizados para o braço.

O braço de cerâmica de alumina chega além do desempenho químico e mecânico e impactos da eficiência operacional e economia de custos em vários níveis. A natureza durável comprovada da cerâmica permite que o braço supere materiais compósitos, como plásticos ou alumínio em termos de longevidade do design sob carga mecânica repetitiva e, portanto, reduz a quantidade de tempo de inatividade operacional e/ou custos de reposição envolvidos. A capacidade de suportar ambientes agressivos inclui limpeza ambiental, além de produzir menos interrupções de fabricação, levando a uma melhor produção consistente de bolacha, ou seja, rendimento e, finalmente, menos sucata, levando a um ROI mais alto (retorno do investimento) para os fabricantes de semicondutores.

As opções para utilizar oCerâmica de AluminaO braço para os processos de semicondutores é praticamente infinito - desde as bolachas em movimento entre bancos úmidos, fornos de difusão e câmaras de deposição até as ferramentas de inspeção e metrologia utilizando substratos. A versatilidade deste produto não apenas permite que ele seja usado para aplicações de manuseio de wafer, mas também são viáveis ​​situações de automação em que a precisão, a limpeza e a confiabilidade são necessárias. A indústria de semicondutores está se movendo inexoravelmente para nós menores e maior complexidade na fabricação de dispositivos e, à medida que a indústria continua a exigir melhores soluções de manuseio confiáveis ​​e não contaminantes, o braço robótico cerâmico cria um caminho claro para a frente.