Tanque de armazenamento líquido de quartzo

O tanque de armazenamento de líquidos de quartzo semicorex é um recipiente criado para propósitos para aplicações limpas e úmidas de semicondutores, onde o manuseio líquido requer um nível extraordinário de limpeza e estabilidade dos materiais. Principalmente, este tanque é usado para coletar resíduos ou líquidos residuais a partir de aplicações de limpeza de wafer. É inestimável para a produtividade do processo e o controle de contaminação. Durante um processo limpo úmido, a enxágue semicondutores envolve grandes volumes de água ultrapura ou reagentes químicos que se tornam líquidos residuais no final do enxágue. Além disso, o líquido residual após a enxágue deve ser coletado, pois possui possíveis impurezas de traços ou constituintes químicos valiosos que não devem descer o ralo. O líquido de resíduos também deve ser coletado quando as etapas de revestimento são executadas, como aplicações fotorresístas, onde resíduos extras ou produtos químicos residuais precisam ser coletados. Assim, o tanque de armazenamento de líquidos de quartzo possui as entregas perfeitas para fornecer alta pureza, compatibilidade química e baixas propriedades de contaminantes.

O tanque é feito de quartzo fundido de alta pureza, muito resistente a ácidos fortes, álcalis e solventes usados ​​regularmente na limpeza e litografia de semicondutores. Seja um recipiente convencional, o quartzo oferece ao material líquido das peças a melhor chance de nenhuma exposição secundária de contaminantes, lixiviação ou exposição a íons indesejados. Um dos principais aspectos do tanque de armazenamento de líquidos de quartzo é a capacidade de suportar fluxos de trabalho analíticos nos Fabs de semicondutores, pois os líquidos residuais coletados em um navio de quartzo podem ser usados ​​em processos a jusante, como detecção de impureza, análise de contaminação e reciclagem química. Inerente às propriedades do quartzo, ele pode conter com segurança fluidos residuais e permitir a avaliação visual sem risco de interação, dada sua inércia e transparência, além de sua estabilidade térmica, o que permite que qualquer fluido no tanque seja levemente acelerado a qualquer temperatura do processo sem risco de degradação ou impactar o fluido. Dito isto, o tanque de armazenamento de líquidos de quartzo foi projetado para coleta de resíduos e armazenamento de curto prazo antes de serem transferidos ou tratados.

Todos os detalhes dos assuntos de controle de contaminação do processo, especialmente porque os nós de fabricação de dispositivos avançados diminuem e os parâmetros de limpeza se tornam mais rigorosos. O tanque de armazenamento de líquidos de quartzo garante que os operadores Fab estão confiantes de que o gerenciamento de resíduos não se torna uma fonte de contaminação secundária. Ao contendo soluções de limpeza residual ou excesso de líquidos de processo, ele impede que os fluxos de trabalho a montante e a jusante sejam validamente efetuados. Além disso, o tanque suporta as metas de sustentabilidade de um FAB, pois líquidos coletados podem ser processados ​​para purificação e reutilização de reagentes, usando outro processo menos intensivo de produtos químicos e resultando em menos carga ambiental em geral.

Do ponto de vista prático, o design do tanque de armazenamento de líquidos de quartzo permite que ele seja facilmente incorporado aos sistemas de hardware de limpeza e produtos químicos. O fator de forma pode ser adaptado às configurações de ferramentas existentes. Os métodos de fabricação de precisão garantem as dimensões redondas e que a superfície interior suave transportará e armazenará facilmente todos os líquidos em seu ambiente fabuloso de semicondutores. Uma estrutura de quartzo não porosa impedirá a absorção de contaminantes e permitirá a limpeza do tanque, tornando-a capaz de reutilizar, diferentemente dos recipientes de plástico convencionais que operam em ambientes químicos controlados em operações de volume significativas.

A linha inferior, o tanque de armazenamento de líquidos de quartzo é especialmente projetado para importância em todos os aplicativos de limpeza e revestimento de limpeza e revestimento semicondutores. Ao criar a melhor pureza material possível, resistência química e armazenamento de líquidos livres de contaminação em uma instalação operacional de semicondutores, os Fabs são capazes de controlar efetivamente seu processo com pouca ou nenhum exageramento de contaminação. Se um FAB está usando o tanque para receber a coleta de resíduos diretos, para a recuperação de um reagente, etc. ou para análise de impureza, o histórico de etapas críticas no processo permanece no estado original sem comprometer a operação. Quando você deseja maximizar o rendimento, minimize o risco de seu processo de trabalho para perda de estabilidade e maximizar a eficiência do gerenciamento químico dos subprodutos, o quartzo livre de contaminação é a única opção que oferece desempenho confiável com toda a sua limpeza úmida.