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Produtos
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Mandris de vácuo de cerâmica SiC
Os mandris a vácuo de cerâmica Semicorex SiC são dispositivos de adsorção a vácuo de precisão fabricados em cerâmica de carboneto de silício, que podem ser posicionados de forma precisa e estável em posições específicas durante o processamento e inspeção. O uso de mandris a vácuo de cerâmica Semicorex SiC pode ajudar a melhorar o rendimento da fabricação de semicondutores, melhorar o desempenho do dispositivo semicondutor e reduzir os custos gerais de fabricação.
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Aquecedores de grafite
Os aquecedores de grafite Semicorex são elementos de aquecimento resistivos projetados com precisão, projetados para os requisitos de pureza ultra-alta e alta temperatura de fornos semicondutores, otimizados especificamente para processos de crescimento de cristais MOCVD, CVD e SiC. A parceria com a Semicorex fornece soluções de aquecimento personalizadas que combinam grafite isostática superior com tecnologias de revestimento avançadas, garantindo uniformidade térmica líder do setor, desempenho de contaminação zero e um custo total de propriedade (TCO) significativamente menor.*
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Anéis porosos de carboneto de tântalo
Os anéis porosos de carboneto de tântalo Semicorex são componentes refratários de alto desempenho projetados especificamente para o processo de transporte físico de vapor (PVT) de crescimento de cristal de carboneto de silício (SiC), apresentando uma estrutura sinterizada monolítica que oferece estabilidade térmica excepcional e permeabilidade controlada a gases.*
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Portadores de wafer RTA SiC
Os transportadores de wafer Semicorex RTA SiC são as ferramentas essenciais para transporte de wafer, especialmente projetados para o rápido processo de recozimento térmico na fabricação de semicondutores. Os transportadores de wafer Semicorex RTA SiC são as soluções ideais para o rápido processo de recozimento térmico, que pode ajudar a melhorar o rendimento da fabricação de semicondutores e melhorar o desempenho do dispositivo semicondutor.
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Susceptores de wafer de grafite revestido com TaC
Os susceptores de wafer de grafite revestidos com TaC Semicorex são os componentes de ponta normalmente aplicados para suportar e posicionar de forma estável os wafers semicondutores durante os processos epitaxiais de semicondutores avançados. Aproveitando tecnologias de produção de última geração e experiência de fabricação madura, a Semicorex está comprometida em fornecer susceptores de wafer de grafite revestidos com TaC de engenharia personalizada com qualidade líder de mercado para nossos valiosos clientes.
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Susceptores revestidos com CVD TaC
Os susceptores revestidos com TaC CVD Semicorex são susceptores de grafite de alto desempenho com um revestimento TaC denso, projetados para fornecer excelente uniformidade térmica e resistência à corrosão para processos exigentes de crescimento epitaxial de SiC. A Semicorex combina tecnologia avançada de revestimento CVD com rigoroso controle de qualidade para fornecer susceptores duradouros e de baixa contaminação, confiáveis pelos fabricantes globais de epi SiC.*
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