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Tratamento de superfície para mandril eletrostático de última geração

O mandril eletrostático realiza múltiplas funções, como descarga eletrostática uniforme, condução de calor e adsorção e fixação de wafer na área de fabricação de semicondutores. Uma das principais funções do ESC é adsorver wafers de forma estável sob condições operacionais extremas, como alto vácuo,......

O que é processo de doping?

Na fabricação de wafers de altíssima pureza, os wafers devem atingir um padrão de pureza superior a 99,999999999% para garantir as propriedades fundamentais dos semicondutores. Paradoxalmente, para alcançar a construção funcional de circuitos integrados, impurezas específicas devem ser introduzidas ......

Mandril de vácuo cerâmico

Os mandris a vácuo de cerâmica são feitos de materiais cerâmicos porosos com distribuição uniforme de tamanho de poros e interconexão interna. Após o lixamento, a superfície fica lisa e delicada, com bom nivelamento. Eles são amplamente utilizados na fabricação de wafers semicondutores, como silício......

A quais indicadores devemos prestar atenção ao selecionar wafers adequados?

A seleção de wafers tem um impacto significativo no desenvolvimento e fabricação de dispositivos semicondutores. A seleção do wafer deve ser orientada pelos requisitos de cenários de aplicação específicos e deve ser cuidadosamente avaliada usando as seguintes métricas cruciais.

Componentes de Silício para Gravura a Seco

O equipamento de gravação a seco não utiliza produtos químicos úmidos para gravação. Ele introduz principalmente um ácido gasoso na câmara através de um eletrodo superior com pequenos orifícios. O campo elétrico gerado pelos eletrodos superior e inferior ioniza o ácido gasoso, que então reage com o ......

A diferença entre substratos de SiC fictícios, de pesquisa e de grau de produção