A gravação, ou gravação, é uma etapa crucial na fabricação de semicondutores, na fabricação de IC microeletrônicos e nos processos de fabricação micro/nano. É um processo de padronização primário associado à fotolitografia. Em um sentido estrito, a gravação é essencialmente uma gravação fotolitográf......
consulte Mais informaçãoO nitreto de silício (Si₃N₄) é um material cerâmico estrutural com condutividade térmica intrínseca em torno de 320 W/(m·K), apresentando alta condutividade térmica e excelentes propriedades mecânicas. Graças à sua estabilidade superior à temperatura ambiente, o Si₃N₄ tornou-se um material de embala......
consulte Mais informaçãoNa fabricação de dispositivos semicondutores de última geração, os filmes de SiO₂ são normalmente formados por meio de processos de oxidação para tratamento de superfície de substrato, e suas aplicações comuns incluem camadas de barreira dopante, camadas de isolamento de superfície, camadas de óxido......
consulte Mais informaçãoCom o avanço da tecnologia, produtos inteligentes como telefones celulares, computadores, veículos elétricos e robôs foram integrados à vida das pessoas. Esses produtos contêm um grande número de chips semicondutores, e a fabricação de chips requer equipamentos semicondutores, como máquinas de grava......
consulte Mais informaçãoOs wafers de silício de alta resistividade (HR-Si), como o próprio nome sugere, são um material de silício monocristalino com resistividade extremamente alta. No campo de fabricação avançada de semicondutores, a perda de alta frequência tornou-se um grande desafio no design de chips de última geraçã......
consulte Mais informaçãoO anel de foco, também conhecido como anel de compensação ou anel de confinamento, é um componente indispensável do equipamento de gravação, especialmente do equipamento de gravação a seco de plasma. Os processos de gravação de precisão em nanoescala na fabricação moderna de semicondutores não seria......
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