Os fornos de deposição química de vapor Semicorex CVD tornam a fabricação de epitaxia de alta qualidade mais eficiente. Fornecemos soluções de forno personalizadas. Nossos fornos de deposição de vapor químico CVD têm uma boa vantagem de preço e cobrem a maioria dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
Os fornos de deposição de vapor químico CVD Semicorex projetados para CVD e CVI são usados para depositar materiais em um substrato. As temperaturas de reação até 2200°C. Controles de fluxo de massa e válvulas moduladoras coordenam reagentes e gases de arraste como N, H, Ar, CO2, metano, tetracloreto de silício, metil triclorosilano e amônia. Os materiais depositados incluem carboneto de silício, carbono pirolítico, nitreto de boro, seleneto de zinco e sulfeto de zinco. Os fornos de deposição de vapor químico CVD têm estruturas horizontais e verticais.
Aplicativo:Revestimento SiC para material compósito C/C, revestimento SiC para grafite, revestimento SiC, BN e ZrC para fibra e etc.
Características dos fornos de deposição de vapor químico Semicorex CVD
1.Design robusto feito de materiais de alta qualidade para uso a longo prazo;
2. Fornecimento de gás controlado com precisão através do uso de controladores de fluxo de massa e válvulas de alta qualidade;
3.Equipado com recursos de segurança, como proteção contra temperatura excessiva e detecção de vazamento de gás para operação segura e confiável;
4. Usando várias zonas de controle de temperatura, grande uniformidade de temperatura;
5.Câmara de deposição especialmente projetada com bom efeito de vedação e ótimo desempenho anticontaminação;
6. Usando vários canais de deposição com fluxo de gás uniforme, sem cantos mortos de deposição e superfície de deposição perfeita;
7. Possui tratamento para alcatrão, poeira sólida e gases orgânicos durante o processo de deposição
Especificações do Forno CVD |
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Modelo |
Tamanho da zona de trabalho (L × A × C) mm |
máx. Temperatura (°C) |
Temperatura Uniformidade (°C) |
Vácuo final (Pa) |
Taxa de Aumento de Pressão (Pa/h) |
LFH-6900-SiC |
600×600×900 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFH-10015-SiC |
1000×1000×1500 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFH-1220-SiC |
1200×1200×2000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFH-1530-SiC |
1500×1500×3000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFH-2535-SiC |
2500×2000×3500 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D3050-SiC |
Ï300×500 |
1500 |
±5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D6080-SiC |
Ï600×800 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D8120-SiC |
Ï800×1200 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D11-SiC |
Ï1100×2000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D26-SiC |
Ï2600×3200 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
*Os parâmetros acima podem ser ajustados aos requisitos do processo, eles não são como padrão de aceitação, a especificação de detalhe. serão declarados na proposta técnica e nos acordos.