Semicorex é um fabricante e fornecedor em grande escala de produtos revestidos de carboneto de silício na China. Fornecemos soluções de forno personalizadas. Nosso forno a vácuo CVD e CVI tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para se tornar seu parceiro de longo prazo.
O forno a vácuo Semicorex CVD e CVI é uma ferramenta de alta qualidade projetada para processos de deposição química de vapor (CVD). As temperaturas de reação até 2200°C. Ele é capaz de depositar uma ampla variedade de materiais, incluindo carboneto de silício, nitreto de boro, grafeno e muito mais. O forno CVD tem um design robusto e é feito de materiais de alta qualidade, garantindo confiabilidade e durabilidade para uso a longo prazo. Tem estruturas horizontais e verticais.
Aplicativo:Disco de freio composto C/C, cadinho, molde e etc.
Características do forno a vácuo Semicorex CVD e CVI
1.Design robusto feito de materiais de alta qualidade para uso a longo prazo;
2. Fornecimento de gás controlado com precisão através do uso de controladores de fluxo de massa e válvulas de alta qualidade;
3.Equipado com recursos de segurança, como proteção contra temperatura excessiva e detecção de vazamento de gás para operação segura e confiável;
4. Usando várias zonas de controle de temperatura, grande uniformidade de temperatura;
5.Câmara de deposição especialmente projetada com bom efeito de vedação e ótimo desempenho anticontaminação;
6. Usando vários canais de deposição com fluxo de gás uniforme, sem cantos mortos de deposição e superfície de deposição perfeita;
7. Possui tratamento para alcatrão, poeira sólida e gases orgânicos durante o processo de deposição
Recursos Opcionais:
â¢Porta do forno: rosca/hidráulica/tipo de elevação manual; abertura giratória/abertura paralela (tamanho grande
porta do forno); aperto manual/anel de bloqueio automático apertado
⢠Recipiente do forno: todo aço carbono/camada interna aço inoxidável/todo aço inoxidável
Zona quente do forno: feltro de carbono macio/feltro de grafite macio/feltro composto rígido/CFC
â¢Elemento de aquecimento e mufla: grafite de prensa isostática/grafite de alta pureza, resistência e densidade/grafite de tamanho fino
⢠Sistema de gás de processo: medidor de fluxo de volume/massa
⢠Termopar: tipo K/tipo N/tipo C/tipo S
Especificações do Forno CVD |
|||||
Modelo |
Tamanho da zona de trabalho (L × A × C) mm |
máx. Temperatura (°C) |
Temperatura Uniformidade (°C) |
Vácuo final (Pa) |
Taxa de Aumento de Pressão (Pa/h) |
LFH-6900-C |
600×600×900 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFH-10015-C |
1000×1000×1500 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFH-1220-C |
1200×1200×2000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFH-1530-C |
1500×1500×3000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFH-2535-C |
2500×2000×3500 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D3050-C |
Ï300×500 |
1500 |
±5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D6080-C |
Ï600×800 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D8120-C |
Ï800×1200 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D11-C |
Ï1100×2000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D26-C |
Ï2600×3200 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
*Os parâmetros acima podem ser ajustados aos requisitos do processo, eles não são como padrão de aceitação, a especificação de detalhe. serão declarados na proposta técnica e nos acordos.