Aquecedores de nitreto de alumínio

Os aquecedores de nitreto de alumínio semicorex são elementos de aquecimento de cerâmica de última geração projetados para aplicações que exigem alta condutividade térmica, isolamento elétrico e durabilidade excepcional. Projetado a partir de cerâmica de nitreto de alumínio, esses aquecedores fornecem aquecimento rápido e uniforme, tornando-os ideais para ambientes de alta precisão, como processamento de semicondutores, diagnóstico médico e instrumentação analítica avançada.

Os aquecedores de nitreto de alumínio são componentes -chave em equipamentos de deposição de filmes finos semicondutores. Eles são aplicados diretamente à câmara do processo e em contato direto com a bolacha. Eles não apenas carregam a bolacha, mas também garantem que a bolacha obtenha um 

Temperatura de processo estável e uniforme. Esse recurso é essencial para reações de alta precisão na superfície da wafer e na geração de filmes finos uniformes.

Normalmente, os aquecedores de nitreto de alumínio incluem um substrato de cerâmica com uma superfície de carregamento de wafer e um corpo de suporte cilíndrico que o suporta nas costas. Além de um circuito de aquecimento resistivo para aquecimento, um eletrodo de RF e um eletrodo de mandril eletrostático e outros condutores também são fornecidos dentro ou na superfície do substrato cerâmico.

O equipamento de deposição de filme fino geralmente usa materiais de cerâmica com base emnitreto de alumínio (ALN)Porque envolve um ambiente de alta temperatura. A razão pela qual aquecedores de nitreto de alumínio são favorecidos na fabricação de semicondutores se deve principalmente às suas propriedades físicas e químicas únicas. O nitreto de alumínio não apenas possui alta condutividade térmica e pode obter um rápido aquecimento e resfriamento em pouco tempo, mas também possui boa isolamento elétrico e resistência mecânica, garantindo a estabilidade e a confiabilidade do aquecedor. Além disso, o coeficiente de expansão térmica do nitreto de alumínio é semelhante ao do silício, o que ajuda a reduzir o impacto do estresse térmico na bolacha e melhorar o rendimento do processo.

De um modo geral,Aquecedores de cerâmicasão usados ​​principalmente em equipamentos de deposição de filmes finos. Como envolve processos de alta temperatura, o material de cerâmica utilizado é principalmente nitreto de alumínio; Os chucks eletrostáticos são usados ​​principalmente em equipamentos de gravação, e o material de cerâmica utilizado é principalmente óxido de alumínio. Com o desenvolvimento da tecnologia de semicondutores, há uma sobreposição entre aquecedores de cerâmica e mandíbulas eletrostáticas. Por exemplo, aquecedores de cerâmica usados ​​em equipamentos de deposição de filmes finos estão equipados com pedidos eletrostáticos, que têm as funções duplas de aquecimento de alta temperatura e adsorção eletrostática. Os chucks eletrostáticos utilizados em equipamentos de gravação também começam a envolver processos de alta temperatura, e o material cerâmico deve ser alterado de óxido de alumínio para nitreto de alumínio.