Mandril cerâmico de nitreto de alumínio

O mandril cerâmico de nitreto de alumínio representa uma solução de ponta para processamento de wafers semicondutores, projetado especificamente para manter os wafers no lugar com segurança durante vários estágios de fabricação. Funcionando como um mandril eletrostático (ESC), este dispositivo inovador aproveita as propriedades excepcionais da cerâmica de nitreto de alumínio para garantir uma retenção precisa e confiável do wafer.

O mandril cerâmico de nitreto de alumínio Semicorex emprega forças eletrostáticas para prender firmemente o wafer em sua superfície. Isto é conseguido através de uma placa meticulosamente projetada com eletrodos integrados, que são estrategicamente polarizados com alta tensão. Como resultado, uma força de retenção eletrostática é estabelecida entre a placa e o wafer, imobilizando efetivamente o wafer no lugar durante os estágios de processamento.

Uma das características de destaque do mandril cerâmico de nitreto de alumínio é sua notável combinação de alta condutividade térmica e propriedades de isolamento. Esta combinação única de características torna-o uma escolha de material ideal para aplicações ESC. A alta condutividade térmica garante uma dissipação de calor eficiente, crucial para manter a distribuição uniforme da temperatura no wafer durante o processamento. Simultaneamente, suas excepcionais propriedades de isolamento proporcionam isolamento elétrico entre o mandril e o wafer, minimizando o risco de interferência elétrica ou danos a componentes semicondutores sensíveis.

O mandril cerâmico de nitreto de alumínio oferece diversas vantagens em relação aos materiais de mandril tradicionais. Sua construção robusta garante durabilidade a longo prazo, capaz de suportar as rigorosas demandas dos ambientes de fabricação de semicondutores. Além disso, sua compatibilidade com processos de alta temperatura e resistência à expansão térmica tornam-no uma ferramenta indispensável para obter resultados consistentes e de alta qualidade no processamento de wafers.