Cassetes de Teflon

As cassetes de Teflon semicorex são portadores de wafer de alto desempenho especificamente projetados para uso em ambientes químicos exigentes, onde a pureza, a resistência química e a estabilidade térmica são essenciais. Feitas de politetrafluoroetileno de alta pureza (PTFE), essas cassetes são amplamente utilizadas na fabricação de semicondutores, gravação úmida, limpeza química e outras aplicações em que a exposição a produtos químicos altamente agressivos é rotina. Sua natureza não reativa os torna ideais para lidar com substratos delicados, como bolachas de silício, painéis de vidro e outros componentes de precisão sem introduzir contaminação ou partículas no processo.

Em vários processos de fabricação de semicondutores, como litografia, gravura e implante de íons, as cassetes desempenham um papel no transporte e transferência de bolachas entre diferentes dispositivos. Diferentes equipamentos de processo podem ter requisitos de interface diferentes para cassetes para garantir que os portadores de wafer possam ser recebidos e colocados com precisão.

Da perspectiva do material e do design, os materiais resistentes ao calor, têm excelentes propriedades mecânicas, estabilidade dimensional e são geralmente duráveis, antiestáticas, de baixa geração, baixa precipitação e reciclável. Diferentes tamanhos de bolacha, nós de processo e processos usam materiais diferentes. Os materiais gerais são PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, policial, etc.

As cassetes de Teflon oferecem resistência química superior em ambientes usando ácido hidrofluórico, ácido nítrico, ácido sulfúrico e outros corrosivos fortes. Ao contrário de materiais convencionais como polipropileno ou aço inoxidável, o PTFE não se degrada; não incha; Lixiviação Nenhuma substância em banhos químicos agressivos. O desempenho é, portanto, garantido por longos períodos e, portanto, a confiabilidade das cassetes para linhas de produção de alto rendimento e ambientes ultra limpos. Sua robustez significa menor necessidade de manutenção e frequência de reposição, reduzindo assim os custos operacionais de longo prazo.

As cassetes de Teflon demonstram estabilidade térmica muito alta. Eles podem suportar facilmente as temperaturas de -200 ° C a +260 ° C, aplicáveis aos processos criogênicos e de alta temperatura. Até colocados em câmaras de secagem aquecida ou banhos químicos frios, as cassetes não perdem sua força estrutural; Eles não deformam ou quebram, garantindo que as bolachas permaneçam mantidas com segurança durante o processamento. Essa resiliência de temperatura contribui significativamente para o controle e a uniformidade do processo, que são críticos para a fabricação de semicondutores e MEMS.

Uma característica igualmente importante das cassetes de Teflon é sua superfície inerte e antiaderente. O PTFE inerentemente não permite a adsorção de partículas e resíduos químicos, reduzindo, portanto, os riscos de contaminação em ambientes de sala limpa. Isso deve ser acoplado a um acabamento de superfície liso que permite enxaguar fácil e secar rapidamente, portanto, os resultados mais limpos e os tempos de ciclo mais rápidos resultam. No processamento de semicondutores, onde os defeitos podem ser causados por contaminantes microscópicos, esse nível de limpeza e inércia química é obrigatório.

Cada cassete é feito com precisão para tolerâncias de tamanho apertado, garantindo o alinhamento e espaçamento constante da bolas enquanto são movidos e colocados em líquido. Sua forma facilmente projetada ajuda o fluxo e a drenagem químicos rápidos, o que acelera as taxas de troca química e melhora a uniformidade de limpeza ou gravação na superfície da wafer.  As cassetes estão disponíveis em tamanhos padrão para bolachas de 4 polegadas, 6 polegadas e 8 polegadas, com opções de personalização disponíveis para ajustar dimensões específicas do substrato, contagens de slots e requisitos de manuseio.

Projetado para compatibilidade com bancos úmidos automatizados e sistemas de manuseio de bolas robóticos, as cassetes de Teflon se integrem facilmente na maioria das configurações de produção de semicondutores. Sua construção robusta e acabamento na sala limpa atendem às rigorosas demandas de ambientes iso certificados. Todas as cassetes passam por uma inspeção completa e são pré-limpas em água ultra-pura para atender aos padrões de limpeza necessários para a produção avançada de microeletrônica. Certificados de conformidade e rastreabilidade de material completo podem ser fornecidos para garantir a conformidade com os protocolos de garantia de qualidade.