Cadinhos de grafite revestidos com SiC

Instalado no centro de fornos de crescimento de cristais de alta temperatura,Revestido com SiCgeralmente começa com o uso da tecnologia avançada de deposição química de vapor para depositar uniformemente uma camada densa

A produção de revestimentos de SiCcadinhos de grafitegeralmente começa com o uso da tecnologia avançada de deposição química de vapor para depositar uniformemente uma camada densacarboneto de silíciorevestimento na superfície do substrato de grafite formado. Composto por alta purezagrafitesubstrato e o denso revestimento de carboneto de silício, o cadinho de grafite revestido de SiC forma uma estrutura sinérgica que combina a condutividade térmica do grafite com a resistência à corrosão do carboneto de silício.

O método Czochralski é a técnica industrial universal para o crescimento de cristais. Esta técnica exercerá a força centrífuga no cadinho durante a produção do cristal. A resistência à flexão e a tenacidade superiores dos cadinhos de grafite revestidos de SiC podem evitar quebras ou rachaduras durante a rotação em alta velocidade, reduzindo efetivamente as interrupções de produção causadas por danos ao cadinho. Além disso, os cadinhos precisam passar por flutuações drásticas de temperatura em um curto período de tempo durante esse processo. Graças à sua notável resistência ao choque térmico, os cadinhos de grafite revestidos de SiC podem reduzir os danos estruturais relacionados ao estresse térmico, garantir a estabilidade de sua forma, reduzindo assim os defeitos de crescimento do cristal causados ​​pela deformação do cadinho.

Sob altas temperaturas, os cadinhos de grafite revestidos com SiC formarão uma densa camada protetora de carboneto de silício. Esta camada protetora pode isolar o substrato de grafite do vapor de silício e do silício fundido, minimizando assim a corrosão do substrato de grafite e os riscos de contaminação do cristal associados ao descascamento do revestimento. Portanto, os cadinhos de grafite revestidos com SiC da Semicorex podem suportar vários ambientes complexos de corrosão em alta temperatura por longos períodos em operação real. Isso garante uma composição cristalina consistente e reduz as taxas de defeitos, ambos essenciais para a produção de cristais semicondutores de alta qualidade.