Crucisos de quartzo semicondutores

Os cadruitos de quartzo semicorex semicondutores são produtos consumíveis na indústria de semicondutores, especificamente para os cadios de quartzo usados ​​no processo de tração de cristal da fabricação de cristal único de silício. Eles são fabricados a partir de quartzo fundido ultra-puro que satisfazem a limpeza, a homogeneidade e a resistência ao calor e são fabricadas para atender às altas demandas da fabricação moderna de semicondutores. Eles são vitais para a especificação de lingote de silício porque seus atributos afetam diretamente o desempenho da wafer e o rendimento no processamento integrado do circuito.

Do ponto de vista térmico e físico: os cadios de quartzo podem suportar muito bem o calor. O ponto de deformação é de aproximadamente 1100 ° C, o ponto de amolecimento é de aproximadamente 1730 ° C e a temperatura máxima de serviço contínuo é de 1100 ° C, [exposição a curto prazo até 1450 ° C]. Essas propriedades permitem usabilidade a altas temperaturas, fornecendo alta pureza e resiliência térmica e, portanto, promovem a estabilidade durante os processos de puxão de cristal de Czochralski (CZ), onde a contaminação e a deformação precisam ser minimizadas e os perfis térmicos precisos são fundamentais para obter o crescimento cristalino homogêneo.

De uma perspectiva estrutural, os cadruitos de quartzo semicondutores consistem em uma estrutura composta em camadas projetada para propriedades térmicas e resistência mecânica. A camada inicial (movendo para dentro) é uma camada de quartzo transparente que é, em geral, um terço da espessura da parede (cerca de 3 a 5 mm) e possui um conteúdo de bolha relativamente baixo (dependendo da técnica de processamento) e, portanto, uma superfície lisa e sem defeito estará em contato com a superfície de gestão de silício moldado (esse contributos para controlar.

O exterior é colocado em camadas com um nível maior de bolhas que contribuem para a resistência à deformação do cadinho, maior resistência ao estresse térmico e isolamento térmico da fonte de calor para uniformidade da radiação. As camadas do cadinho permitem manter a forma e a integridade, apesar dos gradientes térmicos diferenciais de grau que existem no processo de puxão de cristal.

Os cadinhos modernos de quartzo se desenvolveram além da estrutura tradicional de duas camadas devido aos avanços na tecnologia de fabricação. Muitos cadinhos empregam uma estrutura de três camadas-uma camada interna transparente, camada média transparente que tem bolhas dispersas pelo quartzo e uma camada fina externa de quartzo borbulhante. As estruturas de três camadas oferecem melhor resistência mecânica, gerenciamento térmico e benefícios de custo e melhoram as características de transferência de calor. Além disso, alguns cadinhos aplicam revestimentos de íons metálicos alcalinos (por exemplo, soluções de íons de bário) na superfície mais interna ou usam quartzo sintético de alta pureza em camadas específicas, para ajudar a reduzir o teor de oxigênio, esgotar pureza e melhorar a qualidade geral dos cristais únicos puxados.

Os cadinhos de quartzo de fabricação para semicondutores devem ser mantidos em tolerâncias estritas de controle de qualidade nas pureza necessárias, o que geralmente é várias partes por bilhão de impurezas metálicas. As matérias -primas são cuidadosamente selecionadas e purificadas para remover quaisquer contaminantes. Eles são formados em dimensões ásperas, com tratamento térmico adequado aplicado e superfície acabada para abordar a precisão dimensional, a resistência mecânica e a limpeza. O processo é voltado para garantir que os cadinhos permaneçam confiáveis ​​enquanto são submetidos a uma exposição prolongada de alta temperatura em ambientes químicos severos.

O desempenho do cadinho de quartzo na produção de semicondutores influencia a uniformidade da treliça de cristal de silício, a densidade de defeitos e o oxigênio no lingote. Purities de alta pureza e cadinho de quartzo sem defeitos, limitará o deslocamento de defeitos de cristal, aumentará a taxa de rendimento e estabelecerá a capacidade de gerar bolachas para avançar nas geometrias do dispositivo. Se você é um produtor de ICs de desempenho HGH, silício de grau fotovoltaico ou eletrônica de potência, selecionando e usando cadios cadinhos de quartzo de alta qualidade é um elemento crucial para estabelecer e otimizar o desempenho dos custos.

SemicorexQuartz semicondutorOs cadinhos são um material auxiliar essencial para qualquer sistema de puxamento de cristal de silício. Os atributos exclusivos de pureza, estabilidade de alta temperatura e estruturas proprietárias de várias camadas fazem deste um material adequado para apoiar os rigores do processo de tração da CZ, fornecendo desempenho consistente e reprodutível. À medida que a fabricação de semicondutores se move em direção a uma maior integração e tolerâncias mais rigorosas, os benefícios significativos de valor agregado dos cadios cadinhos de quartzo projetados de precisão gerarão mais importância para permitir e desenvolver tecnologias eletrônicas de próxima geração.