O aquecedor de grafite semicondutor Semicorex é um dispositivo de aquecimento de alta eficiência feito de grafite isostática de alta qualidade. É amplamente utilizado nos principais processos de fabricação de semicondutores, como o campo térmico de fornos de crescimento de cristais, processos de crescimento epitaxial, equipamentos de implantação iônica, equipamentos de gravação de plasma e produção de moldes de sinterização de dispositivos semicondutores.
Semicondutoraquecedor de grafiteé um dispositivo de aquecimento avançado feito de material de grafite isostático de alta pureza. Sua excelente condutividade elétrica e condutividade térmica garantem controle preciso da temperatura e distribuição uniforme de calor para o crescimento e processamento de materiais semicondutores. Quando a corrente elétrica passa pelo aquecedor, ela supera a resistência elétrica interna do grafite, convertendo energia elétrica em calor, elevando a temperatura do grafite e conseguindo aquecimento. O controle preciso da temperatura normalmente pode ser alcançado ajustando a intensidade da corrente elétrica e a resistência do aquecedor.
Alta pureza cuidadosamente selecionada da Semicorexgrafite isostáticaapresenta excelente condutividade térmica, permitindo transferir calor de forma rápida e uniforme para todos os cantos da área de aquecimento, evitando efetivamente o superaquecimento localizado.
Notavelmente, mesmo quando exposta a condições de temperatura extremamente alta, como ablação por arco em temperatura ultra-alta, a grafite isostática de alta pureza mantém características físicas e químicas estáveis. O calor intenso normalmente faria com que os materiais derretessem, deformassem ou oxidassem, mas este tipo de grafite é capaz de resistir a essas mudanças. Isso o torna adequado para processos de alta temperatura na produção de semicondutores, incluindo extração de silício de cristal único e crescimento de cristal de carboneto de silício.
O aquecedor semicondutor de grafite é caracterizado pela eficiência energética. Não requer pré-aquecimento, atinge rapidamente a temperatura definida e consegue poupanças de energia notáveis em comparação com aquecedores tradicionais. Sua alta eficiência de conversão térmica reduz efetivamente o consumo de energia, realizando conservação de energia e redução do consumo. Durante a operação, não produz poluentes nem gases de exaustão, atendendo às exigências ambientais.
Além disso, o aquecedor semicondutor de grafite possui uma longa vida útil. A grafite isostática de alta pureza confere-lhes resistência mecânica superior, forte resistência à corrosão e excelente resistência ao choque térmico. São menos suscetíveis a fatores como altas temperaturas e corrosão química, permitindo uma vida útil prolongada.