Tubos de difusão de quartzo de grau semicondutor

Barcos de quartzosão geralmente usados ​​em condições operacionais severas de corrosão química e alta temperatura. Durante a operação, wafers semicondutores são colocados no barco de quartzo e inseridos no tubo de difusão de quartzo. Quando o tubo de difusão atinge a temperatura necessária (várias centenas a vários milhares de graus Celsius), gases de processo (por exemplo, O₂, N₂, H₂, Ar) e gases dopantes (por exemplo, POCl₃, BBr₃) são introduzidos no tubo de difusão de quartzo através de portas de gás para realizar a oxidação, difusão e recozimento em wafers semicondutores. Além disso, para melhorar a uniformidade e a precisão da difusão, alguns processos de difusão precisam ser realizados em um ambiente de baixa pressão. 

Em processos avançados de fabricação de semicondutores, qualquer pequeno erro ou deficiência nesses processos pode levar à falha dos processos subsequentes. Portanto, como partes cruciais da fabricação de semicondutores, a qualidade dos tubos de difusão de quartzo é significativamente importante e afeta diretamente o rendimento e o desempenho dos dispositivos semicondutores.

As especificações do Semicorex Quartzo de grau semicondutor

Os tubos de difusão de quartzo de grau semicondutor Semicorex são meticulosamente fabricados com materiais de alta qualidadequartzo de grau semicondutormaterial. A seguir estão seus parâmetros específicos:

Os parâmetros podem ser personalizados de acordo com as necessidades do cliente.

O desempenho dos tubos de difusão de quartzo de grau semicondutor Semicorex

Contando com nossa experiente tecnologia de processamento e seleção confiável de materiais, a classe de semicondutores Semicorextubos de difusão de quartzodemonstrar desempenho superior sob condições operacionais desafiadoras:

1. Desempenho de resistência a altas temperaturas

Os tubos de difusão de quartzo de grau semicondutor Semicorex oferecem notável resistência a altas temperaturas, o que lhes permite operar de forma estável em ambientes de alta temperatura de até 1200 ℃ sem qualquer deformação ou dano.

2. Desempenho de estabilidade térmica

Apresentando excepcional coeficiente de expansão térmica, os tubos de difusão de quartzo de grau semicondutor Semicorex são capazes de suportar estresse térmico durante rápido aquecimento ou resfriamento sem rachar ou deformar facilmente.

3. Desempenho de resistência química

Os tubos de difusão de quartzo de grau semicondutor Semicorex oferecem inércia química superior em ambientes corrosivos severos e de alta temperatura. Esse desempenho evita que os contaminantes gerados pela reação com os gases do processo afetem a qualidade do wafer.