Tubo de forno de quartzo

Tubo de forno de quartzo Semicorex, barcos wafer, cadinhos de quartzo para crescimento de cristal único de silício são todos feitos de alta purezamatéria de quartzoeu. O quartzo é amplamente utilizado na indústria de semicondutores, o quartzo de alta pureza é o importante consumível na fabricação de wafers. O principal mercado-alvo de peças de quartzo na área de semicondutores é o processo de difusão e gravação na fabricação de wafers, podendo ser dividido em duas categorias principais: peças de alta temperatura e peças de baixa temperatura.

1. As peças de alta temperatura são tubo de forno de quartzo, barco de wafer, suporte de barco e etc. Eles precisam entrar em contato direta ou indiretamente com wafer de silício em ambiente de alta temperatura, são feitos principalmente de material de vidro de quartzo fundido, produzido por meio de processamento térmico.

2.As peças de baixa temperatura são anéis de quartzo no processo de gravação e incluem cassetes, tanques de limpeza no processo de limpeza. São utilizados principalmente em ambientes de baixa temperatura, feitos principalmente de vidro de quartzo fundido, produzido por processamento a frio.

Os componentes na zona de alta temperatura são consumidos mais rapidamente, mas são normalmente usados ​​em sistemas multi-wafer (um transportador contendo vários wafers de silício), enquanto os componentes na zona de baixa temperatura são consumidos mais lentamente, mas são usados ​​em sistemas de wafer único (um transportador contendo um wafer de silício); portanto, o tamanho geral do mercado para ambos é relativamente semelhante.

O forno é a área onde os wafers passam por um processo de aquecimento em alta temperatura, composto por tubo de forno de quartzo, reator e diversos aquecedores, é amplamente aplicado em processos de difusão, oxidação, RTP no processamento de semicondutores. O forno é dividido principalmente em tipos horizontais e verticais:. Em um forno horizontal, os wafers são colocados em um barco de quartzo, que por sua vez é colocado em um suporte de SiC. Existem também defletores adaptativos na frente e atrás. O transportador é empurrado para dentro do tubo do forno de quartzo e os wafers sofrem a reação em uma zona de temperatura constante. Em um forno vertical, os wafers são colocados em uma torre de quartzo e depois elevados lentamente para dentro do tubo do forno de quartzo para processamento.

Devido às altas temperaturas envolvidas nos processos acima, para evitar deformação severa e colapso do tubo do forno de quartzo após uso repetido e prolongado, um tubo do forno de quartzo que seja resistente à deformação e ao colapso e tenha uma longa vida útil deve ser usado durante a produção.

Aqui estão as vantagens dequartzotubo do forno:

1. Resistência a altas temperaturas. O vidro de quartzo tem um ponto de amolecimento de aproximadamente 1730°C e pode ser usado por longos períodos a 1150°C, com uma temperatura máxima de curto prazo atingindo 1450°C.

2. Resistência à corrosão. Exceto o ácido fluorídrico, o quartzo de alta pureza dificilmente reage quimicamente com outras substâncias ácidas. Em altas temperaturas, pode resistir à corrosão causada por ácido sulfúrico, ácido nítrico, ácido clorídrico, água régia, sais neutros, carbono e enxofre. Sua resistência aos ácidos é 30 vezes maior que a da cerâmica e 150 vezes maior que a do aço inoxidável.  Sua estabilidade química, especialmente em altas temperaturas, é incomparável a qualquer outro material de engenharia.

3. Boa estabilidade térmica. O quartzo de alta pureza tem um coeficiente de expansão térmica extremamente baixo e pode suportar mudanças drásticas de temperatura.  Aquecer o quartzo de alta pureza a cerca de 1100 ℃ e depois mergulhá-lo em água à temperatura ambiente não fará com que ele se quebre.

4. Bom desempenho de transmissão de luz. O quartzo de alta pureza tem bom desempenho de transmissão de luz em todo o espectro, do ultravioleta ao infravermelho. A transmitância da luz visível está acima de 93% e, no espectro ultravioleta, a transmitância máxima pode chegar a mais de 80%.

5. Bom desempenho de isolamento elétrico. A resistividade do quartzo de alta pureza é dez mil vezes maior que a do vidro de quartzo comum, tornando-o um excelente material de isolamento elétrico, possuindo boas propriedades elétricas mesmo em altas temperaturas.